Uibheagan SiC 4 òirleach Fo-stratan SiC leth-inslitheach 6H ìre prìomh, rannsachaidh, agus deuchainn

Tuairisgeul Goirid:

Tha fo-strat silicon carbide leth-inslithe air a chruthachadh le bhith a’ gearradh, a’ bleith, a’ snasadh, a’ glanadh agus teicneòlas giullachd eile às deidh fàs criostail silicon carbide leth-inslithe. Tha sreath criostail no ioma-fhilleadh air fhàs air an fho-strat a choinnicheas ri riatanasan càileachd mar epitaxy, agus an uairsin tha an inneal RF meanbh-thonn air a dhèanamh le bhith a’ cothlamadh dealbhadh agus pacadh a’ chuairt. Ri fhaighinn mar fho-stratan criostail singilte silicon carbide leth-inslithe ìre gnìomhachais, rannsachaidh agus deuchainn 2inch 3inch 4inchgh 6inch 8inch.

Cuir post-d thugainn

Feartan

Sònrachadh Bathar

Ìre			Ìre Riochdachaidh MPD Neoni (Ìre Z)			Ìre Riochdachaidh Coitcheann (Ìre P)		Ìre meallta (Ìre D)
Trast-thomhas			99.5 mm ~ 100.0 mm
	4H-SI		500 μm ± 20 μm			500 μm ± 25 μm
Treòrachadh Wafer			Far an axis: 4.0° a dh’ionnsaigh <1120> ±0.5° airson 4H-N, Air an axis: <0001>±0.5° airson 4H-SI
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Prìomh Chòmhnard-stiùiridh		{10-10} ±5.0°
Fad Còmhnard Bunasach		32.5 mm ± 2.0 mm
Fad Còmhnard Àrd-sgoile		18.0 mm±2.0 mm
Treòrachadh Còmhnard Àrd-sgoile		Aghaidh silicon suas: 90° CW. bho Prime flat ±5.0°
Eisgeachd Iomall		3 mm
LTV/TTV/Bogha/Lùb		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Garbhachd			Aghaidh C				Pòlainneach		Ra≤1 nm
			Aghaidh Si	CMP	Ra≤0.2 nm					Ra≤0.5 nm
Sgoltaidhean Oir le Solas Àrd-dian		Chan eil gin ann						Fad cruinnichte ≤ 10 mm, singilte fad≤2 mm
Pleitean Heics le Solas Àrd-dian		Raon cruinnichte ≤0.05%						Raon cruinnichte ≤0.1%
Raointean Poileataip le Solas Àrd-dian		Chan eil gin ann						Raon cruinnichte ≤3%
In-ghabhail Carbon Lèirsinneach		Raon cruinnichte ≤0.05%						Raon cruinnichte ≤3%
Sgrìoban uachdar silicon le solas àrd-dian		Chan eil gin ann						Trast-thomhas fad cruinnichte ≤1＊ wafer
Sliseagan Oir Àrd le Solas Dian		Chan eil gin ceadaichte ≥0.2 mm de leud is doimhneachd						5 ceadaichte, ≤1 mm gach fear
Truailleadh Uachdar Silicon le Dian Àrd		Chan eil gin ann
Pacadh		Caset ioma-wafer no soitheach wafer singilte