Clàr-innse
1. Sealladh farsaing agus prìomh ghnìomhan FOUP
2. Feartan Structar agus Dealbhaidh FOUP
3. Seòrsachadh agus Stiùiridhean Tagraidh FOUP
4. Obrachaidhean agus Cudromachd FOUP ann an Saothrachadh Leth-sheoltairean
5. Dùbhlain Theicnigeach agus Gluasadan Leasachaidh san Àm ri Teachd
6. Fuasglaidhean Gnàthaichte agus Taic Seirbheis XKH
Anns a’ phròiseas saothrachaidh leth-chonnsachaidh, ’s e soitheach deatamach a th’ anns a’ Phuist Aonaichte Fosglaidh Aghaidh (FOUP) a thathas a’ cleachdadh airson wafers a dhìon, a ghiùlan agus a stòradh. Faodaidh an taobh a-staigh aige 25 pìos de wafers 300mm a ghabhail a-steach, agus tha na prìomh phàirtean aige a’ toirt a-steach soitheach a tha a’ fosgladh air a’ bheulaibh agus frèam dorais sònraichte airson fosgladh is dùnadh. Tha am FOUP na phrìomh ghiùlan anns an t-siostam còmhdhail fèin-ghluasadach taobh a-staigh factaraidhean wafer 12 òirleach. Mar as trice bidh e air a ghiùlan ann an staid dùinte agus chan eil e a’ fosgladh ach nuair a thèid a phutadh gu port luchdaidh an uidheamachd, a’ leigeil le wafers a bhith air an gluasad a-steach do phort luchdachadh/dì-luchdachadh an uidheamachd.
Tha dealbhadh an FOUP air atharrachadh a rèir riatanasan na h-àrainneachd bheag. Tha sliotan ann aig a’ chùl airson uaifearan a chuir a-steach, agus tha am mullach air a dhealbhadh gu sònraichte gus a bhith a rèir clamp an fhosglaiche. Bidh robotaichean làimhseachaidh uaifearan ag obair ann an àrainneachd èadhair ghlan Clas 1, a’ dèanamh cinnteach nach tèid na uaifearan a thruailleadh rè an tar-chuir. A bharrachd air an sin, thèid an FOUP a ghluasad eadar innealan pròiseis tro shiostam làimhseachaidh stuthan fèin-ghluasadach (AMHS). Bidh factaraidhean uaifearan an latha an-diugh a’ cleachdadh siostaman rèile os cionn airson còmhdhail sa mhòr-chuid, agus faodaidh beagan factaraidhean nas sine carbadan treòraichte fèin-ghluasadach stèidhichte air an talamh (AGVn) a chleachdadh.
Chan e a-mhàin gu bheil an FOUP a’ comasachadh gluasad uaifearan gu fèin-ghluasadach ach tha e cuideachd a’ frithealadh gnìomh stòraidh. Air sgàth nan iomadh ceum saothrachaidh, faodaidh e mìosan a thoirt air uaifearan am pròiseas gu lèir a chrìochnachadh. Còmhla ri meudan cinneasachaidh mìosail àrd, tha seo a’ ciallachadh gu bheil deichean de mhìltean de uaifearan taobh a-staigh factaraidh an-còmhnaidh gan gluasad no gan stòradh sealach aig àm sam bith. Rè stòradh, bidh FOUPan air an glanadh bho àm gu àm le naitridean gus casg a chuir air truailleadh bho bhith a’ conaltradh ris na uaifearan, a’ dèanamh cinnteach à pròiseas cinneasachaidh glan agus earbsach.
1. Gnìomhan agus Cudromachd FOUP
’S e prìomh dhleastanas an FOUP dìon a thoirt do na wafers bho chlisgeadh is truailleadh bhon taobh a-muigh, gu sònraichte a’ seachnadh bhuaidhean air toradh rè an gluasaid. Bidh e a’ cur casg èifeachdach air taiseachd tro dhòighean leithid glanadh gas agus Smachd Àile Ionadail (LAC), a’ dèanamh cinnteach gu bheil na wafers fhathast ann an staid shàbhailte fhad ’s a tha iad a’ feitheamh ris an ath cheum saothrachaidh. Chan eil an siostam seulaichte is fo smachd aige a’ leigeil ach na todhar is na h-eileamaidean riatanach a-steach, a’ lughdachadh gu mòr droch bhuaidhean VOCs, ocsaidean, agus taiseachd air na wafers.
Leis gum faod FOUP làn luchdaichte le 25 wafers suas ri 9 cileagram a chuideam, feumaidh a ghiùlan a bhith an urra ri Siostam Làimhseachaidh Stuthan Fèin-ghluasadach (AMHS). Gus seo a dhèanamh comasach, tha an FOUP air a dhealbhadh le measgachadh de phlàtaichean ceangail, prìnichean, agus tuill, agus tha tagaichean dealanach RFID ann airson aithneachadh agus seòrsachadh furasta. Chan eil feum air cha mhòr obrachadh làimhe airson an làimhseachadh fèin-ghluasadach seo, a’ lughdachadh ìrean mearachd gu mòr agus a’ neartachadh sàbhailteachd agus cruinneas a’ phròiseis saothrachaidh.
2. Structar agus Seòrsachadh FOUP
Tha na tomhasan àbhaisteach aig FOUP timcheall air 420 mm a leud, 335 mm a dhoimhneachd, agus 335 mm a dh’àirde. Am measg nam prìomh phàirtean structarail aige tha: OHT (ceann balgan-buachair) aig a’ mhullach airson còmhdhail inneal-togail os cionn; Doras aghaidh airson ruigsinneachd air wafer uidheamachd; làmhan taobh, gu tric le còd dath gus raointean pròiseas le diofar ìrean truailleadh a chomharrachadh; raon cairt airson cairtean teachdaireachd a chuir; agus tag RFID aig a’ bhonn a tha na chomharraiche sònraichte airson an FOUP, a’ leigeil le innealan agus innealan-togail os cionn aithneachadh. Tha ceithir tuill comharrachaidh is suidheachaidh aig a’ bhonn cuideachd airson a bhith a’ maidseadh le innealan agus a’ comharrachadh raointean pròiseas.
A rèir an cleachdaidh, tha FOUPan air an seòrsachadh ann an trì seòrsaichean: PRD (airson cinneasachadh), ENG (airson uaifearan innleadaireachd), agus MON (airson uaifearan sgrùdaidh). Faodar FOUPan PRD a chleachdadh airson saothrachadh thoraidhean, tha seòrsachan ENG freagarrach airson R&D no deuchainnean, agus tha seòrsachan MON coisrigte do sgrùdadh phròiseasan airson ceumannan mar CMP agus DIFF. Tha e cudromach a thoirt fa-near gum faodar FOUPan PRD a chleachdadh airson adhbharan ENG agus MON, agus gum faodar seòrsachan ENG a chleachdadh airson MON, ach tha an obrachadh air ais ag adhbhrachadh chunnartan càileachd.
Air an seòrsachadh a rèir ìre truailleadh, faodar FOUPn a roinn ann an FE FOUP (pròiseas aghaidh, gun mheatailt), BE FOUP (pròiseas cùil, anns a bheil meatailt), agus an fheadhainn a tha sònraichte airson pròiseasan meatailt sònraichte leithid NI FOUP, CU FOUP, agus CO FOUP. Mar as trice, tha FOUPn airson diofar phròiseasan air an aithneachadh le dath nan làmhan taobh no pannalan dorais. Faodar FOUPn bho phròiseasan aghaidh a chleachdadh ann am pròiseasan cùil, ach chan fhaodar FOUPn cùil a chleachdadh a-riamh ann am pròiseasan aghaidh, oir dh’ adhbharaicheadh seo cunnartan truailleadh.
Mar phrìomh ghiùlan ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh, tha an FOUP, tro fèin-ghluasad àrd agus smachd teann air truailleadh, a’ dèanamh cinnteach à sàbhailteachd agus glanadh wafers rè a’ phròiseas toraidh, ga dhèanamh na bhun-structar riatanach ann an factaraidhean wafer an latha an-diugh.
Co-dhùnadh
Tha XKH dealasach a thaobh fuasglaidhean Pod Aonaichte le fosgladh aghaidh (FOUP) a thoirt do luchd-ceannach a tha air an gnàthachadh gu mòr, a’ cumail gu teann ri riatanasan pròiseas sònraichte agus sònrachaidhean eadar-aghaidh uidheamachd. Le bhith a’ cleachdadh teicneòlas stuthan adhartach agus pròiseasan saothrachaidh mionaideach, bidh sinn a’ dèanamh cinnteach gu bheil gach toradh FOUP a’ lìbhrigeadh teannachadh èadhair, glanachd agus seasmhachd meacanaigeach air leth. Tha eòlas domhainn gnìomhachais aig an sgioba theicnigeach againn, a’ tabhann taic cearcall-beatha coileanta - bho cho-chomhairleachadh taghaidh agus leasachadh structarail gu glanadh agus cumail suas - a’ dèanamh cinnteach à amalachadh gun fhiosta agus co-obrachadh èifeachdach eadar an FOUP agus an Siostam Làimhseachaidh Stuthan Fèin-ghluasadach (AMHS) agad a bharrachd air uidheamachd giullachd. Bidh sinn an-còmhnaidh a’ toirt prìomhachas do shàbhailteachd wafers agus leasachadh toradh cinneasachaidh mar ar prìomh amasan. Tro thoraidhean ùr-ghnàthach agus seirbheisean teicnigeach uile-chuimseach, bidh sinn a’ toirt seachad gealladh làidir airson na pròiseasan saothrachaidh leth-chonnsachaidh agad, a’ meudachadh èifeachdas cinneasachaidh agus toradh toraidh mu dheireadh.
Àm puist: Sultain-08-2025