Tha plèanaichean criostail agus treòrachadh criostail nan dà bhun-bheachd ann an criosta-eòlas, a tha dlùth-cheangailte ri structar criostail ann an teicneòlas cuairtean amalaichte stèidhichte air silicon.
1. Mìneachadh agus Feartan Treòrachadh Chriostail
Tha treòrachadh criostail a’ riochdachadh treòrachadh sònraichte taobh a-staigh criostail, mar as trice air a chur an cèill le clàran-amais treòrachaidh criostail. Tha treòrachadh criostail air a mhìneachadh le bhith a’ ceangal dà phuing laitís sam bith taobh a-staigh structar a’ chriostail, agus tha na feartan a leanas aige: tha àireamh neo-chrìochnach de phuingean laitís anns gach treòrachadh criostail; faodaidh treòrachadh criostail singilte a bhith air a dhèanamh suas de iomadh treòrachadh criostail co-shìnte a’ cruthachadh teaghlach treòrachaidh criostail; tha teaghlach treòrachaidh a’ chriostail a’ còmhdach a h-uile puing laitís taobh a-staigh a’ chriostail.
Tha cudromachd treòrachadh criostail na laighe ann a bhith a’ comharrachadh rèiteachadh treòraichte nan ataman taobh a-staigh a’ chriostail. Mar eisimpleir, tha treòrachadh criostail [111] a’ riochdachadh treòrachadh sònraichte far a bheil co-mheasan teilgean nan trì aisean co-òrdanachaidh 1:1:1.
2. Mìneachadh agus Feartan Phlèanaichean Criostail
Is e plèana criostail plèana de rèiteachadh atamach taobh a-staigh criostail, air a riochdachadh le clàran-amais plèana criostail (clàr-amais Miller). Mar eisimpleir, tha (111) a’ comharrachadh gu bheil co-phàirtean nan eadar-ghearraidhean den phlèana criostail air na h-aisealan co-òrdanachaidh anns a’ cho-mheas 1:1:1. Tha na feartan a leanas aig a’ phlèana criostail: tha àireamh neo-chrìochnach de phuingean laitís anns gach plèana criostail; tha àireamh neo-chrìochnach de phlèanaichean co-shìnte aig gach plèana criostail a’ cruthachadh teaghlach plèana criostail; tha teaghlach a’ phlèana criostail a’ còmhdach a’ chriostail gu lèir.
Tha dearbhadh clàran-amais Miller a’ toirt a-steach eadar-ghearraidhean plèana criostail air gach axis co-òrdanachaidh a ghabhail, an co-phàirtean aca a lorg, agus an tionndadh chun cho-mheas slàn-àireimh as lugha. Mar eisimpleir, tha eadar-ghearraidhean aig plèana criostail (111) air na h-aisealan x, y, agus z ann an co-mheas 1:1:1.
3. An Dàimh Eadar Plèanaichean Criostail agus Treòrachadh Criostail
Tha plèanaichean criostail agus treòrachadh criostail nan dà dhòigh eadar-dhealaichte air structar geoimeatrach criostail a mhìneachadh. Tha treòrachadh criostail a’ toirt iomradh air rèiteachadh ataman air feadh treòrachaidh shònraichte, agus tha plèana criostail a’ toirt iomradh air rèiteachadh ataman air plèana sònraichte. Tha co-fhreagarrachd sònraichte aig an dà rud seo, ach tha iad a’ riochdachadh bun-bheachdan fiosaigeach eadar-dhealaichte.
Prìomh dhàimh: Tha vectar àbhaisteach plèana criostail (i.e., am vectar ceart-cheàrnach ris a’ phlèana sin) a’ freagairt ri treòrachadh criostail. Mar eisimpleir, tha vectar àbhaisteach plèana criostail (111) a’ freagairt ri treòrachadh criostail [111], a’ ciallachadh gu bheil an rèiteachadh atamach air feadh an stiùiridh [111] ceart-cheàrnach ris a’ phlèana sin.
Ann am pròiseasan leth-chonnsachaidh, bidh taghadh nam plèanaichean criostail a’ toirt buaidh mhòr air coileanadh innealan. Mar eisimpleir, ann an leth-chonnsachaidhean stèidhichte air silicon, is iad na plèanaichean criostail a thathas a’ cleachdadh gu cumanta na plèanaichean (100) agus (111) leis gu bheil rèiteachaidhean atamach agus dòighean ceangail eadar-dhealaichte aca ann an diofar stiùiridhean. Bidh feartan leithid gluasad electron agus lùth uachdar ag atharrachadh air diofar phlèanaichean criostail, a’ toirt buaidh air coileanadh agus pròiseas fàis innealan leth-chonnsachaidh.
4. Cleachdaidhean Practaigeach ann am Pròiseasan Leth-sheoltairean
Ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh stèidhichte air silicon, thathas a’ cur treòrachadh criostail agus plèanaichean criostail an sàs ann an iomadh taobh:
Fàs Chriostalan: Mar as trice bidh criostalan leth-sheoltairean air am fàs air feadh treòrachadh criostail sònraichte. Mar as trice bidh criostalan silicon a’ fàs air feadh nan treòrachadh [100] no [111] leis gu bheil an seasmhachd agus an rèiteachadh atamach anns na treòrachadh sin fàbharach airson fàs criostail.
Pròiseas Greusaidh: Ann an greasadh fliuch, bidh ìrean greasaidh eadar-dhealaichte aig diofar phlèanaichean criostail. Mar eisimpleir, tha na h-ìrean greasaidh air na plèanaichean (100) agus (111) de silicon eadar-dhealaichte, agus mar thoradh air sin bidh buaidhean greasaidh anisotropic ann.
Feartan an inneil: Tha buaidh aig plèana a’ chriostail air gluasad nan dealanan ann an innealan MOSFET. Mar as trice, bidh an gluasad nas àirde air a’ phlèana (100), agus is e sin as coireach gu bheil MOSFETan stèidhichte air silicon an latha an-diugh a’ cleachdadh wafers (100) sa mhòr-chuid.
Ann an geàrr-chunntas, tha plèanaichean criostail agus treòrachadh criostail nan dà dhòigh bhunasach air structar criostalan a mhìneachadh ann an criostalagrafaidheachd. Tha treòrachadh criostail a’ riochdachadh nan feartan stiùiridh taobh a-staigh criostail, agus tha plèanaichean criostail a’ toirt cunntas air plèanaichean sònraichte taobh a-staigh a’ chriostail. Tha an dà bhun-bheachd seo dlùth-cheangailte ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh. Tha taghadh phlèanaichean criostail a’ toirt buaidh dhìreach air feartan fiosaigeach is ceimigeach an stuth, agus tha treòrachadh criostail a’ toirt buaidh air fàs criostail agus dòighean giullachd. Tha tuigse air a’ cheangal eadar plèanaichean criostail agus treòrachadh deatamach airson pròiseasan leth-chonnsachaidh a bharrachadh agus coileanadh innealan a leasachadh.
Àm puist: 8 Dàmhair 2024