Tha plèanaichean criostal agus stiùireadh criostal nan dà bhun-bheachd ann an criostalaidheachd, a tha dlùth cheangailte ris an structar criostal ann an teicneòlas cuairteachaidh amalaichte stèidhichte air silicon.
1.Definition and Properties of Crystal Orientation
Tha stiùireadh criostal a’ riochdachadh stiùireadh sònraichte taobh a-staigh criostal, mar as trice air a chuir an cèill le clàran-amais treòrachaidh criostal. Tha stiùireadh criostal air a mhìneachadh le bhith a’ ceangal dà phuing lattice sam bith taobh a-staigh an structair criostal, agus tha na feartan a leanas aige: tha àireamh neo-chrìochnach de phuingean lattice anns gach taobh criostal; faodaidh aon stiùireadh criostal a bhith air a dhèanamh suas de iomadh stiùireadh criostail co-shìnte a’ cruthachadh teaghlach treòrachaidh criostail; tha an teaghlach treòrachaidh criostail a’ còmhdach a h-uile puing lattice taobh a-staigh a’ chriostail.
Tha cudromachd treòrachadh criostal ann a bhith a’ comharrachadh rèiteachadh stiùiridh nan dadaman taobh a-staigh a’ chriostail. Mar eisimpleir, tha an stiùireadh criostail [111] a’ riochdachadh stiùireadh sònraichte far a bheil co-mheasan ro-mheasaidh nan trì tuaghan co-òrdanachaidh 1: 1: 1.
2. Mìneachadh agus Feartan Crystal Planes
Tha plèana criostal na phlèana de rèiteachadh atom taobh a-staigh criostal, air a riochdachadh le clàran-amais plèana criostail (clàran-amais Miller). Mar eisimpleir, tha (111) a’ nochdadh gu bheil na h-eadar-bheachdan de phlèana criostal air na tuaghan co-chomharran anns a’ cho-mheas de 1: 1: 1. Tha na feartan a leanas aig a’ phlèana criostal: tha àireamh neo-chrìochnach de phuingean lattice anns gach plèana criostail; tha àireamh neo-chrìochnach de phlèanaichean co-shìnte aig gach plèana criostail a 'cruthachadh teaghlach plèana criostail; tha an teaghlach plèana criostail a 'còmhdach a' chriostail gu lèir.
Tha co-dhùnadh clàran-amais Miller a’ toirt a-steach a bhith a’ toirt eadar-bheachdan an itealan criostal air gach axis co-òrdanachaidh, a’ lorg na h-ath-chuairtean aca, agus gan tionndadh chun cho-mheas iomlan as lugha. Mar eisimpleir, tha eadar-bheachdan aig a’ phlèana criostal (111) air na tuaghan x, y, agus z anns a’ cho-mheas de 1: 1: 1.
3. An Dàimh eadar Crystal Planes agus Crystal Orientation
Tha plèanaichean criostal agus stiùireadh criostail dà dhòigh eadar-dhealaichte airson cunntas a thoirt air structar geoimeatrach criostal. Tha stiùireadh criostal a’ toirt iomradh air rèiteachadh dadaman air taobh sònraichte, fhad ‘s a tha plèana criostail a’ toirt iomradh air rèiteachadh dadaman air plèana sònraichte. Tha conaltradh sònraichte aig an dithis seo, ach tha iad a’ riochdachadh diofar bhun-bheachdan fiosaigeach.
Prìomh dhàimh: Tha an vectar àbhaisteach de phlèana criostal (ie, an vectar ceart-cheàrnach ris an itealan sin) a 'freagairt ri stiùireadh criostail. Mar eisimpleir, tha vectar àbhaisteach an itealain criostail (111) a’ freagairt ris an treòrachadh criostail [111], a’ ciallachadh gu bheil an rèiteachadh atamach air an taobh [111] ceart-cheàrnach ris an itealan sin.
Ann am pròiseasan semiconductor, tha taghadh plèanaichean criostail a 'toirt buaidh mhòr air coileanadh innealan. Mar eisimpleir, ann an semiconductors stèidhichte air silicon, is e plèanaichean criostal a chleachdar gu cumanta na plèanaichean (100) agus (111) leis gu bheil rèiteachaidhean atamach eadar-dhealaichte aca agus dòighean ceangail ann an diofar stiùiridhean. Bidh feartan leithid gluasad dealanach agus lùth uachdar ag atharrachadh air diofar phlèanaichean criostail, a’ toirt buaidh air coileanadh agus pròiseas fàis innealan semiconductor.
4. Cleachdaidhean practaigeach ann am Pròiseasan Semiconductor
Ann an saothrachadh semiconductor stèidhichte air silicon, tha stiùireadh criostail agus plèanaichean criostail air an cur an sàs ann an iomadh taobh:
Fàs Criostail: Mar as trice bidh criostalan leth-chonnsair air am fàs a rèir treòrachadh criostail sònraichte. Mar as trice bidh criostalan silicon a’ fàs air na stiùiridhean [100] no [111] leis gu bheil an seasmhachd agus an rèiteachadh atamach anns na taobhan sin fàbharach airson fàs criostal.
Pròiseas Etching: Ann an eitseachadh fliuch, tha ìrean eadar-dhealaichte aig diofar phlèanaichean criostail. Mar eisimpleir, tha na h-ìrean sìolachaidh air na plèanaichean (100) agus (111) de silicon eadar-dhealaichte, a 'ciallachadh gu bheil buaidhean sgudail anisotropic.
Feartan inneal: Tha an itealan criostail a’ toirt buaidh air gluasad an dealanach ann an innealan MOSFET. Mar as trice, tha an gluasad nas àirde air an itealan (100), agus is e sin as coireach gu bheil MOSFETs ùr-nodha stèidhichte air silicon a’ cleachdadh wafers (100) sa mhòr-chuid.
Ann an geàrr-chunntas, tha plèanaichean criostail agus treòrachadh criostail nan dà dhòigh bunaiteach airson cunntas a thoirt air structar criostalan ann an criostalan. Tha stiùireadh criostal a’ riochdachadh na feartan stiùiridh taobh a-staigh criostal, agus tha plèanaichean criostail a’ toirt cunntas air plèanaichean sònraichte taobh a-staigh a’ chriostail. Tha dlùth cheangal aig an dà bhun-bheachd seo ann an saothrachadh semiconductor. Bidh an taghadh de phlèanaichean criostail a’ toirt buaidh dhìreach air feartan fiosaigeach is ceimigeach an stuth, fhad ‘s a tha stiùireadh criostail a’ toirt buaidh air fàs criostail agus dòighean giullachd. Tha tuigse air a’ cheangal eadar plèanaichean criostal agus treòrachadh deatamach airson a bhith a’ dèanamh an fheum as fheàrr de phròiseasan semiconductor agus a’ leasachadh coileanadh innealan.
Ùine puist: Dàmhair-08-2024