Faodar fo-strat Sapphire le pàtran (PSS) 2 òirleach 4 òirleach 6 òirleach air a bheil stuth GaN air fhàs a chleachdadh airson solais LED

Tuairisgeul Goirid:

'S e masg a th' ann an fo-strat sapphire pàtranach (PSS) airson gràbhaladh tioram air an fho-strat sapphire. Tha pàtran air a ghràbhaladh air a' masg le pròiseas lithagrafaidh àbhaisteach, agus an uairsin tha an sapphire air a ghràbhaladh le teicneòlas gràbhaladh ICP, agus tha am masg air a thoirt air falbh, agus mu dheireadh tha stuth GaN air fhàs air, gus am bi epitaxy fad-ùine stuth GaN na epitaxy còmhnard. Tha grunn cheumannan anns a' phròiseas seo leithid còmhdach photoresist, nochdadh ceum air cheum, leasachadh pàtran nochdaidh, gràbhaladh tioram ICP agus glanadh.


Mion-fhiosrachadh Toraidh

Tagaichean Bathar

Prìomh fheartan

1. Feartan structarail:
Tha pàtran còn no trì-cheàrnach òrdail aig uachdar PSS agus faodar a chumadh, a mheud agus a sgaoileadh a smachdachadh le bhith ag atharrachadh paramadairean a’ phròiseis gràbhalaidh.
Bidh na structaran grafaigeach seo a’ cuideachadh le bhith ag atharrachadh slighe iomadachaidh solais agus a’ lughdachadh meòrachadh iomlan solais, agus mar sin a’ leasachadh èifeachdas toirt a-mach solais.

2. Feartan stuthan:
Bidh PSS a’ cleachdadh sapphire àrd-inbhe mar an stuth fo-strat, aig a bheil feartan cruas àrd, seoltachd teirmeach àrd, deagh sheasmhachd cheimigeach agus follaiseachd optigeach.
Leigidh na feartan seo le PSS seasamh an aghaidh àrainneachdan cruaidh leithid teòthachd is cuideaman àrda agus aig an aon àm a’ cumail suas coileanadh optigeach sàr-mhath.

3. Coileanadh optaigeach:
Le bhith ag atharrachadh an sgapadh iomadach aig an eadar-aghaidh eadar GaN agus an t-substrate sapphire, bheir PSS cothrom do na fotonan a tha air an nochdadh gu tur taobh a-staigh sreath GaN teicheadh ​​​​​​bhon t-substrate sapphire.
Tha an feart seo a’ leasachadh èifeachdas tarraing-solais an LED gu mòr agus a’ neartachadh dian solais an LED.

4. Feartan a’ phròiseis:
Tha am pròiseas saothrachaidh PSS gu math iom-fhillte, anns a bheil grunn cheumannan leithid lithagrafaidheachd agus gràbhaladh, agus tha feum air uidheamachd agus smachd pròiseas àrd-chruinneas.
Ach, le adhartas leantainneach teicneòlais agus lùghdachadh chosgaisean, tha pròiseas saothrachaidh PSS air a leasachadh agus air a bharrachadh mean air mhean.

Prìomh bhuannachd

1. Èifeachdas às-tharraing solais a leasachadh: Bidh PSS a’ leasachadh èifeachdas às-tharraing solais LED gu mòr le bhith ag atharrachadh slighe iomadachaidh an t-solais agus a’ lughdachadh meòrachadh iomlan.

2. Leudachadh beatha LED: Faodaidh PSS dùmhlachd dì-àiteachaidh stuthan epitaxial GaN a lùghdachadh, agus mar sin a’ lughdachadh an ath-chur neo-rèididh agus an sruth aodion cùil anns an roinn ghnìomhach, a’ leudachadh beatha LED.

3. Leasaich soilleireachd LED: Mar thoradh air leasachadh èifeachdas às-tharraing solais agus leudachadh beatha LED, tha dian solais LED air a’ PSS air a mheudachadh gu mòr.

4. Lùghdaich cosgaisean cinneasachaidh: Ged a tha pròiseas saothrachaidh PSS caran iom-fhillte, faodaidh e èifeachdas solais agus beatha LED a leasachadh gu mòr, agus mar sin cosgaisean cinneasachaidh a lughdachadh gu ìre agus farpaiseachd an toraidh a leasachadh.

Prìomh raointean tagraidh

1. Solais LED: Faodaidh PSS mar stuth fo-strat airson sgoltagan LED èifeachdas solais agus beatha LED a leasachadh gu mòr.
Ann an raon solais LED, tha PSS air a chleachdadh gu farsaing ann an diofar thoraidhean solais, leithid lampaichean sràide, lampaichean bùird, solais chàraichean agus mar sin air adhart.

2. Innealan leth-sheoltaiche: A bharrachd air solais LED, faodar PSS a chleachdadh cuideachd gus innealan leth-sheoltaiche eile a dhèanamh, leithid lorgairean solais, lasers, msaa. Tha raon farsaing de thagraidhean aig na h-innealan sin ann an conaltradh, meidigeach, armachd agus raointean eile.

3. Amalachadh optoelectronic: Tha feartan optaigeach agus seasmhachd PSS ga dhèanamh mar aon de na stuthan as fheàrr ann an raon amalachadh optoelectronic. Ann an amalachadh optoelectronic, faodar PSS a chleachdadh gus treòraichean tonn optaigeach, suidsichean optaigeach agus co-phàirtean eile a dhèanamh gus tar-chur agus giullachd chomharran optaigeach a thoirt gu buil.

Paramadairean teicnigeach

Fo-strat Sapphire le pàtran (2 ~ 6 òirleach)
Trast-thomhas 50.8 ± 0.1 mm 100.0 ± 0.2 mm 150.0 ± 0.3 mm
Tiughas 430 ± 25μm 650 ± 25μm 1000 ± 25μm
Treòrachadh Uachdar Plèana-C (0001) far-cheàrn a dh’ionnsaigh ais-M (10-10) 0.2 ± 0.1°
Plèana-C (0001) far-cheàrn a dh’ionnsaigh ais-A (11-20) 0 ± 0.1°
Prìomh Chòmhnard-stiùiridh Plèana-A (11-20) ± 1.0°
Fad Còmhnard Bunasach 16.0 ± 1.0 mm 30.0 ± 1.0 mm 47.5 ± 2.0 mm
R-Phlèana 9 uairean
Crìochnachadh Uachdar Aghaidh Pàtranach
Crìochnachadh Uachdar Cùil SSP: Mìn-talmhainn, Ra = 0.8-1.2um; DSP: Epi-polaichte, Ra <0.3nm
Comharra Leusair Taobh cùil
TTV ≤8μm ≤10μm ≤20μm
BOGHA ≤10μm ≤15μm ≤25μm
WARP ≤12μm ≤20μm ≤30μm
Eisgeachd Iomall ≤2 mm
Sònrachadh Pàtrain Structar Cruth Cruinneach, Còn, Piramid
Àirde a’ Phàtrain 1.6~1.8μm
Trast-thomhas a’ Phàtrain 2.75~2.85μm
Àite Pàtrain 0.1~0.3μm

Tha XKH ag amas air leasachadh, cinneasachadh agus reic fo-strat sapphire le pàtran (PSS), agus tha iad dealasach a thaobh toraidhean PSS àrd-inbhe agus àrd-choileanaidh a thoirt do luchd-ceannach air feadh an t-saoghail. Tha teicneòlas saothrachaidh adhartach agus sgioba teicnigeach proifeasanta aig XKH, as urrainn toraidhean PSS a ghnàthachadh le diofar shònrachaidhean agus diofar structaran pàtrain a rèir feumalachdan luchd-ceannach. Aig an aon àm, tha XKH a’ toirt aire do chàileachd toraidh agus càileachd seirbheis, agus tha iad dealasach a thaobh raon iomlan de thaic theicnigeach agus fhuasglaidhean a thoirt do luchd-ceannach. Ann an raon PSS, tha eòlas agus buannachdan beairteach air cruinneachadh aig XKH, agus tha iad a’ coimhead air adhart ri bhith ag obair còmhla ri com-pàirtichean cruinneil gus leasachadh ùr-ghnàthach solais LED, innealan leth-chonnsachaidh agus gnìomhachasan eile adhartachadh còmhla.

Diagram Mionaideach

Fo-strat Sapphire Pàtranach (PSS) 6
Fo-strat Sapphire Pàtranach (PSS) 5
Fo-strat Sapphire Pàtranach (PSS) 4

  • Roimhe:
  • Air adhart:

  • Sgrìobh do theachdaireachd an seo agus cuir thugainn i