8Inch 200mm 4H-N SiC Wafer Ìre rannsachaidh dà-chonnaidh giùlain

8Inch 200mm 4H-N SiC Wafer Ìre rannsachaidh meallta giùlain Ìomhaigh Sònraichte

Tuairisgeul goirid:

Mar a bhios margaidhean còmhdhail, lùtha is gnìomhachais a’ tighinn air adhart, tha iarrtas airson electronics cumhachd earbsach, àrd-choileanadh a’ sìor fhàs.Gus coinneachadh ris na feumalachdan airson coileanadh semiconductor nas fheàrr, tha luchd-saothrachaidh innealan a’ coimhead ri stuthan bann-leathann semiconductor, leithid ar pasgan 4H SiC Prime Grade de wafers 4H n-type silicon carbide (SiC).

Cuir post-d thugainn

Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Mar thoradh air na feartan corporra is dealanach sònraichte aige, thathas a’ cleachdadh stuth semiconductor wafer 200mm SiC gus innealan dealanach àrd-choileanadh, àrd-teòthachd, dìon-rèididheachd agus àrd-tricead a chruthachadh.Tha prìs substrate 8inch SiC a’ dol sìos mean air mhean leis gu bheil an teicneòlas a’ fàs nas adhartaiche agus mar a bhios an t-iarrtas a’ fàs.Tha leasachaidhean teicneòlais o chionn ghoirid a’ leantainn gu saothrachadh sgèile toraidh de wafers SiC 200mm.Na prìomh bhuannachdan a tha aig stuthan semiconductor wafer SiC an coimeas ri wafers Si agus GaAs: Tha neart raon dealain 4H-SiC aig àm briseadh maoim-sneachda nas àirde na òrdugh meudachd nas àirde na na luachan co-fhreagarrach airson Si agus GaAs.Tha seo a’ leantainn gu lùghdachadh mòr ann an seasmhachd air-stàite Ron.Tha seasmhachd ìosal air-stàite, còmhla ri dùmhlachd sruth àrd agus giùlan teirmeach, a’ ceadachadh bàs glè bheag a chleachdadh airson innealan cumhachd.Tha giùlan teirmeach àrd SiC a’ lughdachadh strì teirmeach a’ chip.Tha feartan dealanach innealan stèidhichte air wafers SiC gu math seasmhach thar ùine agus air teòthachd seasmhach, a nì cinnteach gu bheil earbsachd àrd de thoraidhean.Tha silicon carbide gu math seasmhach an aghaidh rèididheachd cruaidh, nach eil a ’lughdachadh feartan dealanach a’ chip.Leigidh teòthachd obrachaidh cuibhrichte àrd a ’chriostail (barrachd air 6000C) leat innealan fìor earbsach a chruthachadh airson suidheachaidhean obrach cruaidh agus tagraidhean sònraichte.Aig an àm seo, is urrainn dhuinn wafers 200mmSiC baidse beag a thoirt seachad gu cunbhalach agus gu leantainneach agus tha beagan stoc againn san taigh-bathair.

Sònrachadh

Aireamh	Nì	Aonad	Riochdachadh	Rannsachadh	Dummy
1. Paramadairean
1.1	polytype	--	4H	4H	4H
1.2	stiùireadh uachdar	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2. Paramadair dealain
2.1	dopant	--	n-seòrsa Nitrigin	n-seòrsa Nitrigin	n-seòrsa Nitrigin
2.2	seasmhachd	Ach · cm	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3. Meacanaigeach paramadair
3.1	trast-thomhas	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	tiughad	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Stiùireadh notch	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Doimhneachd notch	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TBh	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Bogha	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Warp	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4. Structar
4.1	dùmhlachd meanbh-phìob	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	stuth meatailt	dadaman/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5. Càileachd adhartach
5.1	aghaidh	--	Si	Si	Si
5.2	crìochnachadh uachdar	--	Si-aghaidh CMP	Si-aghaidh CMP	Si-aghaidh CMP
5.3	gràinne	ea/wafer	≤100 (meud≥0.3μm)	NA	NA
5.4	sgrìobadh	ea/wafer	≤5, Faid iomlan ≤200mm	NA	NA
5.5	Oir sgoltagan / indent / sgàinidhean / stains / truailleadh	--	Chan eil gin	Chan eil gin	NA
5.6	Sgìrean polytype	--	Chan eil gin	Sgìre ≤10%	Sgìre ≤30%
5.7	comharrachadh aghaidh	--	Chan eil gin	Chan eil gin	Chan eil gin
6. Càileachd cùil
6.1	cùl crìoch	--	C-aghaidh BP	C-aghaidh BP	C-aghaidh BP
6.2	sgrìobadh	mm	NA	NA	NA
6.3	Air ais lochdan oir sgoltagan / indent	--	Chan eil gin	Chan eil gin	NA
6.4	Cùl garbh	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	A 'comharrachadh cùl	--	Sgeag	Sgeag	Sgeag
7. Oir
7.1	oir	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8. Pasgan
8.1	pacadh	--	Epi-deiseil le vacuum pacadh	Epi-deiseil le vacuum pacadh	Epi-deiseil le vacuum pacadh
8.2	pacadh	--	Ioma-wafer pacadh cassette	Ioma-wafer pacadh cassette	Ioma-wafer pacadh cassette