Ingot SiC 2 òirleach Trast-thomhas 50.8mmx10mmt 4H-N monocrystal

Tuairisgeul Goirid:

Tha ingot SiC (silicon carbide) 2-òirleach a’ toirt iomradh air criostal singilte siolandair no bloc-chruthach de shilicon carbide le trast-thomhas no fad oir de 2 òirleach. Bithear a’ cleachdadh ingotan silicon carbide mar stuth tòiseachaidh airson cinneasachadh diofar innealan leth-chonnsachaidh, leithid innealan dealanach cumhachd agus innealan optoelectronic.


Mion-fhiosrachadh Toraidh

Tagaichean Bathar

Teicneòlas Fàs Criostail SiC

Tha feartan SiC ga dhèanamh duilich criostalan singilte fhàs. Tha seo gu ìre mhòr air sgàth nach eil ìre leaghaidh ann le co-mheas stoichiometric de Si:C = 1:1 aig cuideam an àile, agus chan eil e comasach SiC fhàs leis na dòighean fàis nas aibidh, leithid an dòigh tarraing dhìreach agus an dòigh crucible tuiteamach, a tha nan prìomh dhòighean ann an gnìomhachas nan leth-chonnsadairean. Ann an teòiridh, chan fhaighear fuasgladh le co-mheas stoichiometric de Si:C = 1:1 ach nuair a tha an cuideam nas motha na 10E5atm agus an teòthachd nas àirde na 3200℃. An-dràsta, tha na prìomh dhòighean a’ toirt a-steach an dòigh PVT, an dòigh ìre-leaghaidh, agus an dòigh tasgadh ceimigeach ìre-smùide aig teòthachd àrd.

Tha na criostalan is na wafers SiC a bheir sinn seachad air am fàs sa mhòr-chuid le còmhdhail smùid corporra (PVT), agus seo geàrr-chunntas air PVT:

Thàinig an dòigh còmhdhail smùid corporra (PVT) bhon dòigh-obrach fo-shruthadh ìre-gasa a chruthaich Lely ann an 1955, anns a bheil pùdar SiC air a chur ann an tiùb grafait agus air a theasachadh gu teòthachd àrd gus am bi am pùdar SiC a’ lobhadh agus a’ fo-shruthadh, agus an uairsin tha an tiùb grafait air fhuarachadh sìos, agus tha na co-phàirtean ìre-gasa lobhadh den phùdar SiC air an tasgadh agus air an criostalachadh mar chriostalan SiC anns an raon mun cuairt air an tiùb grafait. Ged a tha an dòigh seo duilich criostalan singilte SiC mòra fhaighinn agus tha e duilich smachd a chumail air a’ phròiseas tasgadh taobh a-staigh an tiùba grafait, tha e a’ toirt beachdan do luchd-rannsachaidh san àm ri teachd.

Thug YM Tairov et al. anns an Ruis a-steach bun-bheachd criostail sìl air a’ bhunait seo, a dh’fhuasgail duilgheadas cumadh criostail neo-riaghlaidh agus suidheachadh niùclasach criostalan SiC. Lean luchd-rannsachaidh às dèidh sin orra a’ leasachadh agus mu dheireadh leasaich iad an dòigh gluasaid smùid corporra (PVT) a thathas a’ cleachdadh gu gnìomhachais an-diugh.

Mar a’ chiad dhòigh fàis criostail SiC, ’s e PVT an dòigh fàis as cumanta an-dràsta airson criostalan SiC. An coimeas ri dòighean eile, tha riatanasan ìosal aig an dòigh seo airson uidheamachd fàis, pròiseas fàis sìmplidh, smachd làidir, leasachadh is rannsachadh mionaideach, agus tha e air a bhith air a ghnìomhachasachadh mu thràth.

Diagram Mionaideach

asd (1)
asd (2)
asd (3)
asd (4)

  • Roimhe:
  • Air adhart:

  • Sgrìobh do theachdaireachd an seo agus cuir thugainn i