4inch 6inch Lithium niobate film criostail singilte LNOI wafer
Tha pròiseas ullachaidh stuthan LNOI air a roinn sa mhòr-chuid anns na ceithir ceumannan a leanas
(1) Chaidh na h-ianan aige a chuir a-steach don stuth lithium niobate X-cut aig lùth sònraichte, agus a thoirt a-steach don t-sreath locht aig doimhneachd sònraichte fon ìre uachdar de lithium niobate;
(2) Tha an stuth lithium niobate a chaidh a chuir a-steach le ian air a cheangal ri substrate silicon le còmhdach ogsaid gus structar ceangail a chruthachadh;
(3) Chaidh an structar ceangail a chuir a-steach gus toirt air na h-uireasbhaidhean a thug implantachadh ian a-steach a thighinn air adhart agus a dhol còmhla gus sgàinidhean a chruthachadh. Mu dheireadh, chaidh an lithium niobate a sgaradh air feadh an t-sreath easbhaidh gus na sliseagan lithium niobate agus wafers LNOI a chruthachadh.
Cleachdaidhean agus buannachdan wafer LNOI
1-- Tha co-èifeachd piezoelectric àrd agus seasmhach dielectric aig filmichean lithium niobate piezoelectric (LNOI), a dh’ fhaodas lùth meacanaigeach a thionndadh gu lùth dealain no lùth dealain gu lùth meacanaigeach. Mar sin, tha e air a chleachdadh gu bitheanta ann an achadh sensaran, leithid cuideam mothachaidhean, luathachadh sensaran, teòthachd sensaran agus mar sin air adhart. A bharrachd air an sin, faodar am film piezoelectric lithium niobate a chleachdadh cuideachd ann an innealan fuaimneach agus innealan crathaidh, leithid sìoltachan ceirmeag piezoelectric iom-fhillte piezoelectric transducer ceirmeach.
2-Tha seasmhachd film piezoelectric lithium niobate cuideachd mar aon de na buannachdan aige. Air sgàth seasmhachd structar criostail agus neo-sheasmhachd cheimigeach, faodaidh film piezoelectric lithium niobate obrachadh ann an teòthachd àrd, àrd taiseachd, searbhag làidir, alkali làidir agus àrainneachd chruaidh eile, le deagh sheasamh an aghaidh creimeadh agus seasmhachd.
Tha film piezoelectric 3-Lithium niobate na stuth piezoelectric ùr le coileanadh agus seasmhachd sàr-mhath, agus tha dùil tagraidh farsaing aige. Le leasachadh leantainneach air saidheans agus teicneòlas, thèid film piezoelectric lithium niobate a chuir an sàs ann am barrachd bhailtean, a ’toirt barrachd goireasachd agus ùr-ghnàthachadh do bheatha dhaoine