Film criostail singilte lithium niobate 4 òirleach 6 òirleach LNOI wafer
Tha am pròiseas ullachaidh airson stuthan LNOI air a roinn sa mhòr-chuid anns na ceithir ceumannan a leanas
(1) Chaidh ianan He a stealladh a-steach don stuth lithium niobate le gearradh-X aig lùth sònraichte, agus chaidh an cur a-steach don shreath lochtach aig doimhneachd sònraichte fo shreath uachdar lithium niobate;
(2) Tha an stuth lithium niobate a chaidh a chur a-steach le ian ceangailte ri fo-strat silicon le sreath ocsaid gus structar ceangail a chruthachadh;
(3) Chaidh an structar ceangail a losgadh gus am biodh na lochdan a chaidh a thoirt a-steach le implantachadh ian He a’ leasachadh agus a’ cruinneachadh gus sgàinidhean a chruthachadh. Mu dheireadh, chaidh an lithium niobate a sgaradh air feadh an t-sreath locht gus na sliseagan lithium niobate a bha air fhàgail agus na wafers LNOI a chruthachadh.
Tagraidhean agus buannachdan uaifearan LNOI
1--Tha co-èifeachd piezoelectric agus cunbhalachd dielectric àrd aig filmichean piezoelectric lithium niobate (LNOI), agus faodaidh iad lùth meacanaigeach a thionndadh gu lùth dealain no lùth dealain gu lùth meacanaigeach. Mar sin, tha iad air an cleachdadh gu farsaing ann an raon mothachairean, leithid mothachairean cuideam, mothachairean luathachaidh, mothachairean teòthachd agus mar sin air adhart. A bharrachd air an sin, faodar film piezoelectric lithium niobate a chleachdadh cuideachd ann an innealan fuaimneach agus innealan crith, leithid sìoltachan ceirmeach piezoelectric iom-fhillte transducer ceirmeach piezoelectric.
2-Tha seasmhachd film piezoelectric lithium niobate cuideachd na bhuannachd dha. Air sgàth seasmhachd structar criostail agus neo-ghnìomhachd cheimigeach, faodaidh film piezoelectric lithium niobate obrachadh ann an teòthachd àrd, taiseachd àrd, searbhag làidir, alcalan làidir agus àrainneachdan cruaidh eile, le deagh sheasamh an aghaidh creimeadh agus seasmhachd.
’S e stuth piezoelectric ùr a th’ ann am film piezoelectric 3-Lithium niobate le coileanadh agus seasmhachd sàr-mhath, agus tha cothrom tagraidh farsaing aige. Le leasachadh leantainneach saidheans agus teicneòlais, thèid film piezoelectric lithium niobate a chleachdadh ann am barrachd bhailtean, a’ toirt barrachd goireasachd agus ùr-ghnàthachaidh do bheatha dhaoine.
Diagram Mionaideach


