GaN 50.8mm 2 òirleach air uabhar Epi-layer sapphire
Cleachdadh duilleag epitaxial GaN gallium nitride
Stèidhichte air coileanadh gallium nitride, tha sgoltagan epitaxial gallium nitride freagarrach sa mhòr-chuid airson tagraidhean àrd-chumhachd, àrd-tricead, agus bholtaids ìosal.
Tha e air a nochdadh ann an:
1) Beàrn-chòmhlain àrd: Bidh beàrn-chòmhlain àrd a’ leasachadh ìre bholtaids innealan gallium nitride agus faodaidh e cumhachd nas àirde a thoirt a-mach na innealan gallium arsenide, a tha gu sònraichte freagarrach airson stèiseanan conaltraidh 5G, radar armachd agus raointean eile;
2) Èifeachdas tionndaidh àrd: tha an aghaidh-ghnìomhachd aig innealan dealanach cumhachd suidse gallium nitride 3 òrdughan meudachd nas ìsle na an aghaidh innealan silicon, agus faodaidh seo call suidse-ghnìomhachd a lùghdachadh gu mòr;
3) Seòltachd teirmeach àrd: tha an giùlan teirmeach àrd aig gallium nitride ga dhèanamh comasach air teas a sgaoileadh gu math, freagarrach airson innealan àrd-chumhachd, teòthachd àrd agus raointean eile a dhèanamh;
4) Neart achaidh dealain briseadh sìos: Ged a tha neart achaidh dealain briseadh sìos gallium nitride faisg air neart achaidh silicon nitride, air sgàth pròiseas leth-chonnsachaidh, mì-cho-fhreagarrachd grìtheidean stuthan agus factaran eile, mar as trice bidh fulangas bholtaids innealan gallium nitride timcheall air 1000V, agus mar as trice bidh am bholtaids cleachdaidh sàbhailte fo 650V.
Nì | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
Meudan | 50.8mm ± 0.1mm | ||
Tiughas | 4.5±0.5 um | 4.5±0.5um | |
Treòrachadh | Plèana-C(0001) ±0.5° | ||
Seòrsa giùlain | Seòrsa-N (Gun dopadh) | Seòrsa-N (air a dhopadh le Si) | Seòrsa-P (air a dhopadh le Mg) |
Frith-sheasmhachd (3O0K) | < 0.5 Q・cm | < 0.05 Q・cm | ~ 10 Q・cm |
Dùmhlachd giùlain | < 5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 | > 6x1016 cm-3 |
Gluasadachd | ~ 300 cm2/An aghaidh | ~ 200 cm2/An aghaidh | ~ 10 cm2/An aghaidh |
Dlùths dì-àiteachaidh | Nas lugha na 5x108cm-2(air a thomhas le FWHMan de XRD) | ||
Structar an t-substrate | GaN air Sapphire (Coitcheann: Roghainn SSP: DSP) | ||
Raon Uachdair a ghabhas cleachdadh | > 90% | ||
Pasgan | Air a phacaigeadh ann an àrainneachd seòmar glan clas 100, ann an cassettes de 25 pìosan no soithichean wafer singilte, fo àile naitridean. |
* Faodar tiugh eile a ghnàthachadh
Diagram Mionaideach


