6 òirleach ingot leth-inslitheach silicon carbide 4H-SiC, ìre meallta
Togalaichean
1. Feartan Fiosaigeach agus Structarail
●Seòrsa Stuth: Carbaid Silicon (SiC)
●Poileataip: 4H-SiC, structar criostail sia-thaobhach
Trast-thomhas: 6 òirlich (150 mm)
● Tiugh: So-rèiteachaidh (5-15 mm àbhaisteach airson ìre meallta)
● Treòrachadh Criostail:
oPrìomh: [0001] (Plèana-C)
Roghainnean àrd-sgoile: Far-axis 4° airson fàs epitaxial leasaichte
● Prìomh Chòmhnardachd: (10-10) ± 5°
● Treòrachadh Còmhnard Àrd-sgoile: 90° tuathal bhon phrìomh chòmhnard ± 5°
2. Feartan Dealain
●Frith-sheasmhachd:
oLeth-inslitheach (>106^66 Ω·cm), freagarrach airson comas dìosganach a lughdachadh.
●Seòrsa Dòpaidh:
oAir a dhopadh gun fhiosta, agus mar thoradh air sin tha strì an aghaidh dealain àrd agus seasmhachd fo raon de shuidheachaidhean obrachaidh.
3. Feartan Teirmeach
●Seoltachd Teirmeach: 3.5-4.9 W/cm·K, a’ comasachadh sgaoileadh teas èifeachdach ann an siostaman àrd-chumhachd.
●Co-èifeachd Leudachaidh Teirmeach: 4.2 × 10−64.2 \times 10^{-6}4.2 × 10−6/K, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd tomhasach rè giollachd aig teòthachd àrd.
4. Feartan Optaigeach
● Beàrn-chòmhlain: Beàrn-chòmhlain farsaing de 3.26 eV, a’ leigeil le obrachadh fo bholtaids is teòthachd àrd.
● Follaiseachd: Follaiseachd àrd do thonnan-fada UV agus faicsinneach, feumail airson deuchainnean optoelectronic.
5. Feartan Meacanaigeach
● Cruas: Sgèile Mohs 9, an dàrna fear a-mhàin às dèidh daoimean, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd rè giollachd.
● Dlùths Easbhaidh:
oAir a smachdachadh airson lochdan macro as lugha, a’ dèanamh cinnteach à càileachd gu leòr airson tagraidhean ìre-fetich.
● Cothromachd: Co-ionannachd le claonaidhean
Paramadair | Mion-fhiosrachadh | Aonad |
Ìre | Ìre meallta | |
Trast-thomhas | 150.0 ± 0.5 | mm |
Treòrachadh Wafer | Air an ais: <0001> ± 0.5° | ceum |
Frith-sheasmhachd dealain | > 1E5 | Ω·cm |
Prìomh Chòmhnard-stiùiridh | {10-10} ± 5.0° | ceum |
Fad Còmhnard Bunasach | Notch | |
Sgoltaidhean (Sgrùdadh Solais Àrd-dian) | < 3 mm ann an radial | mm |
Pleitean Heics (Sgrùdadh Solais Àrd-dian) | Raon cruinnichte ≤ 5% | % |
Raointean Polytype (Sgrùdadh Solais Àrd-dian) | Raon cruinnichte ≤ 10% | % |
Dlùths nam Pìoban Micrio | < 50 | cm−2^-2−2 |
Sgoltadh Oir | 3 ceadaichte, gach fear ≤ 3 mm | mm |
Nota | Bidh tiughas sliseagaidh < 1 mm, > 70% (ach a-mhàin dà cheann) a’ coinneachadh ris na riatanasan gu h-àrd |
Iarrtasan
1. Prototaipeadh agus Rannsachadh
Tha an ingot 4H-SiC 6-òirleach ìre-fèille na stuth air leth freagarrach airson prototàipeadh agus rannsachadh, a’ leigeil le luchd-saothrachaidh agus deuchainn-lannan:
● Paramadairean a’ phròiseis a dhearbhadh ann an Tasgadh Ceò Ceimigeach (CVD) no Tasgadh Ceò Corporra (PVD).
● Leasaich agus leasaich dòighean gràbhaladh, snasadh, agus gearradh wafers.
●Rannsaich dealbhadh innealan ùra mus gluais thu gu stuth ìre-riochdachaidh.
2. Calabrachadh is Deuchainn Innealan
Tha na feartan leth-inslitheach a’ dèanamh an ingot seo luachmhor airson:
● Measadh agus calabrachadh feartan dealain innealan àrd-chumhachd agus àrd-tricead.
● A’ dèanamh atharrais air suidheachaidhean obrachaidh airson MOSFETan, IGBTan, no diodan ann an àrainneachdan deuchainn.
● A’ frithealadh mar roghainn eile a tha èifeachdach a thaobh cosgais an àite fo-stratan àrd-ghlanachd aig ìre thràth leasachaidh.
3. Leictreonaic Cumhachd
Tha feartan an t-seòltachd teirmeach àrd agus beàrn-bann farsaing aig 4H-SiC a’ comasachadh obrachadh èifeachdach ann an electronics cumhachd, nam measg:
● Solar cumhachd àrd-bholtaids.
●Innealan-tionndaidh charbadan dealain (EV).
● Siostaman lùtha ath-nuadhachail, leithid innealan-tionndaidh grèine agus roth-gaoithe.
4. Tagraidhean Tricead Rèidio (RF)
Tha call dielectric ìosal agus gluasad àrd electron 4H-SiC ga dhèanamh freagarrach airson:
●Amplifiers RF agus transistors ann am bun-structar conaltraidh.
● Siostaman radar àrd-tricead airson tagraidhean aerospace agus dìon.
● Co-phàirtean lìonra gun uèir airson teicneòlasan 5G a tha a’ tighinn am bàrr.
5. Innealan a tha an aghaidh rèididheachd
Air sgàth cho làidir ‘s a tha e an aghaidh lochdan a tha air adhbhrachadh le rèididheachd, tha 4H-SiC leth-inslitheach freagarrach airson:
● Uidheam rannsachaidh fànais, a’ gabhail a-steach eileagtronaig saideal agus siostaman cumhachd.
●Eileagtronaig a tha air a chruadhachadh le rèididheachd airson sgrùdadh agus smachd niùclasach.
● Tagraidhean dìon a dh’ fheumas seasmhachd ann an àrainneachdan anabarrach.
6. Optoelectronics
Tha follaiseachd optaigeach agus beàrn-bann farsaing 4H-SiC ga dhèanamh comasach a chleachdadh ann an:
●Lorgairean-foto UV agus LEDan àrd-chumhachd.
● A’ dèanamh deuchainn air còtaichean optaigeach agus làimhseachadh uachdar.
● A’ dèanamh prototàip de cho-phàirtean optaigeach airson mothachairean adhartach.
Buannachdan Stuth Ìre-Dùmhail
Èifeachdas Cosgais:
Tha an ìre meallta na roghainn eile nas saoire na stuthan ìre rannsachaidh no cinneasachaidh, ga dhèanamh air leth freagarrach airson deuchainnean cunbhalach agus leasachadh phròiseasan.
Gnàthachadh:
Bidh tomhasan rèiteachaidh agus treòrachadh criostail a’ dèanamh cinnteach gu bheil iad co-chòrdalach ri raon farsaing de thagraidhean.
Sgèileadh:
Tha an trast-thomhas 6-òirleach a rèir inbhean gnìomhachais, a’ leigeil le sgèileadh gun fhiosta gu pròiseasan ìre cinneasachaidh.
Seasmhachd:
Tha neart meacanaigeach àrd agus seasmhachd teirmeach a’ dèanamh an ingot seasmhach agus earbsach fo dhiofar shuidheachaidhean deuchainneach.
Iomadachd:
Freagarrach airson iomadh gnìomhachas, bho shiostaman lùtha gu conaltradh agus optoelectronics.
Co-dhùnadh
Tha an ingot leth-inslithe Silicon Carbide (4H-SiC) 6-òirleach, ìre meallta, a’ tabhann àrd-ùrlar earbsach is ioma-chruthach airson rannsachadh, prototàipeadh, agus deuchainnean ann an roinnean teicneòlais ùr-nodha. Tha na feartan teirmeach, dealain agus meacanaigeach sònraichte aige, còmhla ri prìs reusanta agus gnàthachadh, ga dhèanamh na stuth riatanach airson an dà chuid an saoghal acadaimigeach agus gnìomhachas. Bho electronics cumhachd gu siostaman RF agus innealan a tha air an cruadhachadh le rèididheachd, tha an ingot seo a’ toirt taic do ùr-ghnàthachadh aig gach ìre de leasachadh.
Airson mion-chomharrachadh nas mionaidiche no gus luachan iarraidh, cuir fios thugainn gu dìreach. Tha an sgioba theicnigeach againn deiseil gus do chuideachadh le fuasglaidhean gnàthaichte a choinnicheas ri na riatanasan agad.
Diagram Mionaideach



