Gabhaidh seòrsa N/P wafer epitaxiy SiC 6 òirleach ri gnàthaichte

’S e dòigh a th’ ann am pròiseas ullachaidh uaifean epitaxial silicon carbide a bhios a’ cleachdadh teicneòlas Chemical Vapor Deposition (CVD). Seo na prionnsapalan teicnigeach buntainneach agus na ceumannan sa phròiseas ullachaidh:

Prionnsabal teicnigeach:

Tasgadh Ceò Ceimigeach: A’ cleachdadh gas an stuth amh anns an ìre gasach, fo chumhachan ath-bhualadh sònraichte, thèid a lobhadh agus a thasgadh air an t-substrate gus am film tana a tha thu ag iarraidh a chruthachadh.

Ath-bhualadh ìre gas: Tro ath-bhualadh pirolysis no ath-bhualadh sgàineadh, bidh diofar ghasaichean stuthan amh ann an ìre gas air an atharrachadh gu ceimigeach anns an t-seòmar ath-bhualadh.

Ceumannan a’ phròiseis ullachaidh:

Làimhseachadh bun-strat: Tha an t-substrate fo ghlanadh uachdar agus ro-làimhseachadh gus dèanamh cinnteach à càileachd agus criostalachd a’ wafer epitaxial.

Fuasgladh mearachdan seòmar ath-bhualaidh: atharraich teòthachd, cuideam agus ìre sruthadh seòmar ath-bhualaidh agus paramadairean eile gus dèanamh cinnteach à seasmhachd agus smachd nan suidheachaidhean ath-bhualaidh.

Solar stuthan amh: solaraich na stuthan amh gas a tha a dhìth a-steach don t-seòmar freagairt, a’ measgachadh agus a’ cumail smachd air an ìre sruthadh mar a dh’ fheumar.

Pròiseas ath-bhualadh: Le bhith a’ teasachadh seòmar an ath-bhualadh, bidh an stuth amh gasach a’ dol tro ath-bhualadh ceimigeach anns an t-seòmar gus an tasgadh a tha thu ag iarraidh a thoirt gu buil, ie film silicon carbide.

Fuarachadh agus dì-luchdachadh: Aig deireadh an ath-bhualadh, thèid an teòthachd ìsleachadh mean air mhean gus na tasgaidhean anns an t-seòmar ath-bhualadh fhuarachadh agus a chruadhachadh.

Annealing agus iar-phròiseasadh wafer epitaxial: tha an wafer epitaxial a chaidh a thasgadh air a losgadh agus air a iar-phròiseasadh gus na feartan dealain is optigeach aige a leasachadh.

Dh’fhaodadh na ceumannan agus na cumhaichean sònraichte ann am pròiseas ullachaidh uaifearan epitaxial silicon carbide atharrachadh a rèir an uidheamachd agus na riatanasan sònraichte. Chan eil anns an seo ach sruth agus prionnsapal coitcheann a’ phròiseis, feumar an obrachadh sònraichte atharrachadh agus a bharrachadh a rèir an t-suidheachaidh fhìor.