Ìre rannsachaidh dummy giùlain 4H-N SiC 8Inch 200mm
Air sgàth nan feartan fiosaigeach is dealanach sònraichte aige, thathas a’ cleachdadh stuth leth-chonnsachaidh wafer SiC 200mm gus innealan dealanach àrd-choileanaidh, àrd-theodhachd, rèididheachd-dhìonach, agus àrd-tricead a chruthachadh. Tha prìs fo-strat SiC 8 òirleach a’ lùghdachadh mean air mhean mar a bhios an teicneòlas a’ fàs nas adhartaiche agus an t-iarrtas a’ fàs. Tha leasachaidhean teicneòlais o chionn ghoirid a’ leantainn gu saothrachadh sgèile cinneasachaidh de wafers SiC 200mm. Na prìomh bhuannachdan a tha aig stuthan leth-chonnsachaidh wafer SiC an coimeas ri wafers Si agus GaAs: Tha neart achaidh dealain 4H-SiC rè briseadh sìos maoim-sneachda còrr is òrdugh meudachd nas àirde na na luachan co-fhreagarrach airson Si agus GaAs. Tha seo a’ leantainn gu lùghdachadh mòr ann an aghaidh-sheasmhachd staid Ron. Leigidh aghaidh-sheasmhachd staid ìosal, còmhla ri dùmhlachd sruth àrd agus seoltachd teirmeach, leinn bàs glè bheag a chleachdadh airson innealan cumhachd. Bidh seoltachd teirmeach àrd SiC a’ lughdachadh an aghaidh teirmeach den chip. Tha feartan dealanach innealan stèidhichte air wafers SiC gu math seasmhach thar ùine agus seasmhach aig teòthachd, a nì cinnteach à earbsachd àrd thoraidhean. Tha silicon carbide gu math seasmhach an aghaidh rèididheachd chruaidh, nach eil a’ lughdachadh feartan dealanach a’ chip. Leigidh teòthachd obrachaidh àrd a’ chriostail (os cionn 6000C) leat innealan earbsach a chruthachadh airson suidheachaidhean obrachaidh cruaidh agus tagraidhean sònraichte. An-dràsta, is urrainn dhuinn wafers SiC 200mm ann am baidsean beaga a thoirt seachad gu cunbhalach agus gu leantainneach agus tha beagan stoc againn san taigh-bathair.
Sònrachadh
| Àireamh | Nì | Aonad | Riochdachadh | Rannsachadh | Amadan |
| 1. Paramadairean | |||||
| 1.1 | poileataip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | treòrachadh uachdar | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2. Paramadair dealain | |||||
| 2.1 | stuth-leigheis | -- | Nìtrigin seòrsa-n | Nìtrigin seòrsa-n | Nìtrigin seòrsa-n |
| 2.2 | strì an aghaidh | ohm ·cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3. Paramadair meacanaigeach | |||||
| 3.1 | trast-thomhas | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | tiughas | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Treòrachadh an notch | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Doimhneachd an Eang | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Bogha | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Lùbadh | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4. Structar | |||||
| 4.1 | dùmhlachd micropìoba | gach cm² | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | susbaint meatailt | ataman/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | gach cm² | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | gach cm² | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | gach cm² | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Càileachd dheimhinneach | |||||
| 5.1 | aghaidh | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | crìochnachadh uachdar | -- | CMP aghaidh-si | CMP aghaidh-si | CMP aghaidh-si |
| 5.3 | mìrean | ea/wafer | ≤100 (meud ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | sgrìob | ea/wafer | ≤5, Fad Iomlan ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Oir sgoltagan/beàrnan/sgàinidhean/stain/truailleadh | -- | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann | NA |
| 5.6 | Sgìrean polytype | -- | Chan eil gin ann | Raon ≤10% | Raon ≤30% |
| 5.7 | comharradh aghaidh | -- | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann |
| 6. Càileachd cùil | |||||
| 6.1 | crìochnachadh cùil | -- | BP aghaidh-C | BP aghaidh-C | BP aghaidh-C |
| 6.2 | sgrìob | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Oir lochdan cùil sgoltagan/clòitean | -- | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann | NA |
| 6.4 | Garbh-chùil | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Comharrachadh cùil | -- | Notch | Notch | Notch |
| 7. Oir | |||||
| 7.1 | oir | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8. Pasgan | |||||
| 8.1 | pacadh | -- | Epi-deiseil le falamh pacadh | Epi-deiseil le falamh pacadh | Epi-deiseil le falamh pacadh |
| 8.2 | pacadh | -- | Ioma-wafer pacadh cassette | Ioma-wafer pacadh cassette | Ioma-wafer pacadh cassette |
Diagram Mionaideach
