8Inch 200mm 4H-N SiC Wafer Ìre rannsachaidh dà-chonnaidh giùlain

8Inch 200mm 4H-N SiC Wafer Ìre rannsachaidh meallta giùlain Ìomhaigh Sònraichte

Tuairisgeul goirid:

Mar a bhios margaidhean còmhdhail, lùtha is gnìomhachais a’ tighinn air adhart, tha iarrtas airson electronics cumhachd earbsach, àrd-choileanadh a’ sìor fhàs. Gus coinneachadh ris na feumalachdan airson coileanadh semiconductor nas fheàrr, tha luchd-saothrachaidh innealan a’ coimhead ri stuthan bann-leathann semiconductor, leithid ar pasgan 4H SiC Prime Grade de wafers 4H n-type silicon carbide (SiC).

Cuir post-d thugainn

Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Mar thoradh air na feartan corporra is dealanach sònraichte aige, thathas a’ cleachdadh stuth semiconductor wafer 200mm SiC gus innealan dealanach àrd-choileanadh, àrd-teòthachd, dìon-rèididheachd agus àrd-tricead a chruthachadh. Tha prìs substrate 8inch SiC a’ dol sìos mean air mhean leis gu bheil an teicneòlas a’ fàs nas adhartaiche agus mar a bhios an t-iarrtas a’ fàs. Tha leasachaidhean teicneòlais o chionn ghoirid a’ leantainn gu saothrachadh sgèile toraidh de wafers SiC 200mm. Na prìomh bhuannachdan a tha aig stuthan semiconductor wafer SiC an coimeas ri wafers Si agus GaAs: Tha neart raon dealain 4H-SiC aig àm briseadh maoim-sneachda nas àirde na òrdugh meudachd nas àirde na na luachan co-fhreagarrach airson Si agus GaAs. Tha seo a’ leantainn gu lùghdachadh mòr ann an seasmhachd air-stàite Ron. Tha seasmhachd ìosal air-stàite, còmhla ri dùmhlachd sruth àrd agus giùlan teirmeach, a’ ceadachadh bàs glè bheag a chleachdadh airson innealan cumhachd. Tha giùlan teirmeach àrd SiC a’ lughdachadh strì teirmeach a’ chip. Tha feartan dealanach innealan stèidhichte air wafers SiC gu math seasmhach thar ùine agus air teòthachd seasmhach, a nì cinnteach gu bheil earbsachd àrd de thoraidhean. Tha silicon carbide gu math seasmhach an aghaidh rèididheachd cruaidh, nach eil a ’lughdachadh feartan dealanach a’ chip. Leigidh teòthachd obrachaidh cuibhrichte àrd a ’chriostail (barrachd air 6000C) leat innealan fìor earbsach a chruthachadh airson suidheachaidhean obrach cruaidh agus tagraidhean sònraichte. Aig an àm seo, is urrainn dhuinn wafers 200mmSiC baidse beag a thoirt seachad gu cunbhalach agus gu leantainneach agus tha beagan stoc againn san taigh-bathair.

Sònrachadh

Aireamh	Nì	Aonad	Riochdachadh	Rannsachadh	Dummy
1. Paramadairean
1.1	polytype	--	4H	4H	4H
1.2	stiùireadh uachdar	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2. Paramadair dealain
2.1	dopant	--	n-seòrsa Nitrigin	n-seòrsa Nitrigin	n-seòrsa Nitrigin
2.2	seasmhachd	Ach · cm	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3. Meacanaigeach paramadair
3.1	trast-thomhas	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	tiughad	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Stiùireadh notch	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Doimhneachd notch	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TBh	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Bogha	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Warp	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4. Structar
4.1	dùmhlachd meanbh-phìob	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	stuth meatailt	dadaman/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5. Càileachd adhartach
5.1	aghaidh	--	Si	Si	Si
5.2	crìochnachadh uachdar	--	Si-aghaidh CMP	Si-aghaidh CMP	Si-aghaidh CMP
5.3	gràinne	ea/wafer	≤100 (meud≥0.3μm)	NA	NA
5.4	sgrìobadh	ea/wafer	≤5, Faid iomlan ≤200mm	NA	NA
5.5	Oir sgoltagan / indent / sgàinidhean / stains / truailleadh	--	Chan eil gin	Chan eil gin	NA
5.6	Sgìrean polytype	--	Chan eil gin	Sgìre ≤10%	Sgìre ≤30%
5.7	comharrachadh aghaidh	--	Chan eil gin	Chan eil gin	Chan eil gin
6. Càileachd cùil
6.1	cùl crìoch	--	C-aghaidh BP	C-aghaidh BP	C-aghaidh BP
6.2	sgrìobadh	mm	NA	NA	NA
6.3	Air ais lochdan oir sgoltagan / indent	--	Chan eil gin	Chan eil gin	NA
6.4	Cùl garbh	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	A 'comharrachadh cùl	--	Sgeag	Sgeag	Sgeag
7. Oir
7.1	oir	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8. Pasgan
8.1	pacadh	--	Epi-deiseil le vacuum pacadh	Epi-deiseil le vacuum pacadh	Epi-deiseil le vacuum pacadh
8.2	pacadh	--	Ioma-wafer pacadh cassette	Ioma-wafer pacadh cassette	Ioma-wafer pacadh cassette