Wafer ìre toraidh SiC 8inch 4H-N SiC substrate

Tuairisgeul goirid:

Thathas a’ cleachdadh fo-stratan SiC 8-òirleach ann an innealan dealanach àrd-chumhachd, leithid MOSFETs cumhachd (Transistors Buaidh Achaidh Semiconductor Metal Oxide), diodes Schottky agus innealan semiconductor cumhachd eile.

Cuir post-d thugainn

Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Tha an clàr a leanas a’ sealltainn mion-chomharrachadh nan wafers SiC 8inch againn:

Sònrachaidhean SiC DSP de sheòrsa N 8
Aireamh	Nì	Aonad	Riochdachadh	Rannsachadh	Dummy
1: paramadairean
1.1	polytype	--	4H	4H	4H
1.2	stiùireadh uachdar	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2: Paramadair dealain
2.1	dopant	--	n-seòrsa Nitrigin	n-seòrsa Nitrigin	n-seòrsa Nitrigin
2.2	seasmhachd	ach · cm	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3: paramadair meacanaigeach
3.1	trast-thomhas	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	tiughad	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Stiùireadh notch	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Doimhneachd notch	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TBh	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Bogha	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Warp	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: Structar
4.1	dùmhlachd meanbh-phìob	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	stuth meatailt	dadaman/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.Front càileachd
5.1	aghaidh	--	Si	Si	Si
5.2	crìochnachadh uachdar	--	Si-aghaidh CMP	Si-aghaidh CMP	Si-aghaidh CMP
5.3	gràinne	ea/wafer	≤100 (meud≥0.3μm)	NA	NA
5.4	sgrìobadh	ea/wafer	≤5, Faid iomlan ≤200mm	NA	NA
5.5	Oir sgoltagan / indent / sgàinidhean / stains / truailleadh	--	Chan eil gin	Chan eil gin	NA
5.6	Sgìrean polytype	--	Chan eil gin	Sgìre ≤10%	Sgìre ≤30%
5.7	comharrachadh aghaidh	--	Chan eil gin	Chan eil gin	Chan eil gin
6: Cùl càileachd
6.1	cùl crìoch	--	C-aghaidh BP	C-aghaidh BP	C-aghaidh BP
6.2	sgrìobadh	mm	NA	NA	NA
6.3	Air ais lochdan oir sgoltagan / indent	--	Chan eil gin	Chan eil gin	NA
6.4	Cùl garbh	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	A 'comharrachadh cùl	--	Sgeag	Sgeag	Sgeag
7: iomall
7.1	oir	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8: paca
8.1	pacadh	--	Epi-deiseil le vacuum pacadh	Epi-deiseil le vacuum pacadh	Epi-deiseil le vacuum pacadh
8.2	pacadh	--	Ioma-wafer pacadh cassette	Ioma-wafer pacadh cassette	Ioma-wafer pacadh cassette