Fo-strat SiC 4H-N ìre cinneasachaidh SiC 8 òirleach
Tha an clàr a leanas a’ sealltainn mion-chomharrachadh ar wafers SiC 8 òirleach:
| Sònrachaidhean DSP SiC seòrsa-N 8 òirleach | |||||
| Àireamh | Nì | Aonad | Riochdachadh | Rannsachadh | Amadan |
| 1: paramadairean | |||||
| 1.1 | poileataip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | treòrachadh uachdar | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Paramadair dealain | |||||
| 2.1 | stuth-leigheis | -- | Nìtrigin seòrsa-n | Nìtrigin seòrsa-n | Nìtrigin seòrsa-n |
| 2.2 | strì an aghaidh | ohm ·cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: Paramadair meacanaigeach | |||||
| 3.1 | trast-thomhas | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | tiughas | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Treòrachadh an notch | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Doimhneachd an Eang | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Bogha | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Lùbadh | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Structar | |||||
| 4.1 | dùmhlachd micropìoba | gach cm² | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | susbaint meatailt | ataman/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | gach cm² | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | gach cm² | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | gach cm² | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Càileachd aghaidh | |||||
| 5.1 | aghaidh | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | crìochnachadh uachdar | -- | CMP aghaidh-si | CMP aghaidh-si | CMP aghaidh-si |
| 5.3 | mìrean | ea/wafer | ≤100 (meud ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | sgrìob | ea/wafer | ≤5, Fad Iomlan ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Oir sgoltagan/beàrnan/sgàinidhean/stain/truailleadh | -- | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann | NA |
| 5.6 | Sgìrean polytype | -- | Chan eil gin ann | Raon ≤10% | Raon ≤30% |
| 5.7 | comharradh aghaidh | -- | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann |
| 6: Càileachd cùil | |||||
| 6.1 | crìochnachadh cùil | -- | BP aghaidh-C | BP aghaidh-C | BP aghaidh-C |
| 6.2 | sgrìob | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Oir lochdan cùil sgoltagan/clòitean | -- | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann | NA |
| 6.4 | Garbh-chùil | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Comharrachadh cùil | -- | Notch | Notch | Notch |
| 7: oir | |||||
| 7.1 | oir | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8: Pasgan | |||||
| 8.1 | pacadh | -- | Epi-deiseil le falamh pacadh | Epi-deiseil le falamh pacadh | Epi-deiseil le falamh pacadh |
| 8.2 | pacadh | -- | Ioma-wafer pacadh cassette | Ioma-wafer pacadh cassette | Ioma-wafer pacadh cassette |
Diagram Mionaideach
Sgrìobh do theachdaireachd an seo agus cuir thugainn i