Fo-strat ath-nuadhachaidh meallta 1-100Ω de dh’fhaidhle silicon 8 òirleach, seòrsa P/N (100)
Thoir a-steach bogsa wafer
’S e stuth fo-strat silicon a thathas a’ cleachdadh gu cumanta a th’ anns a’ chliath silicon 8-òirleach agus tha e air a chleachdadh gu farsaing ann am pròiseas saothrachaidh chuairtean amalaichte. Bithear a’ cleachdadh nan cliath silicon sin gu cumanta gus diofar sheòrsaichean de chuairtean amalaichte a dhèanamh, nam measg meanbh-phròiseasairean, sgoltagan cuimhne, mothachairean agus innealan dealanach eile. Bithear a’ cleachdadh cliath silicon 8-òirleach gu cumanta gus sgoltagan de mheudan an ìre mhath mòr a dhèanamh, le buannachdan a’ toirt a-steach farsaingeachd uachdar nas motha agus a’ chomas barrachd sgoltagan a dhèanamh air aon chliath silicon, a’ leantainn gu èifeachdas cinneasachaidh nas fheàrr. Tha deagh fheartan meacanaigeach agus ceimigeach aig a’ chliath silicon 8-òirleach cuideachd, a tha freagarrach airson cinneasachadh chuairtean amalaichte air sgèile mhòr.
Feartan toraidh
Seòrsa P/N 8", uaifear silicon snasta (25 pìosan)
Treòrachadh: 200
Frith-sheasmhachd: 0.1 - 40 ohm•cm (Faodaidh e atharrachadh bho bhaidse gu baidse)
Tiughas: 725 +/- 20um
Ìre Prìomh/Sgrùdair/Deuchainn
FEARTAN STUTHAN
Paramadair | Feart |
Seòrsa/Dopant | P, Boron N, Fosfarach N, Antimony N, Arsanaig |
Treòrachadh | <100>, <111> a’ gearradh dheth stiùiridhean a rèir sònrachaidhean an neach-ceannach |
Susbaint ocsaidean | 1019Fulangas gnàthaichte ppmA a rèir sònrachadh an neach-ceannach |
Susbaint Carbon | < 0.6 ppmA |
FEARTAN MEACANAIGEACH
Paramadair | Prìomh | Sgrùdadh/Deuchainn A | Deuchainn |
Trast-thomhas | 200±0.2mm | 200 ± 0.2mm | 200 ± 0.5 mm |
Tiughas | 725±20µm (àbhaisteach) | 725±25µm (àbhaisteach) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (àbhaisteach) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Bogha | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Paisg | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Cruinneachadh Oir | LETH-STD | ||
Comharrachadh | Prìomh leth-fhlat a-mhàin, flataichean leth-std Jeida Flat, Notch |
Paramadair | Prìomh | Sgrùdadh/Deuchainn A | Deuchainn |
Slatan-tomhais Taobh Aghaidh | |||
Suidheachadh uachdar | Ceimigeach Meacanaigeach Snasta | Ceimigeach Meacanaigeach Snasta | Ceimigeach Meacanaigeach Snasta |
Garbh-uachdar | < 2° A | < 2° A | < 2° A |
Truailleadh Mìrean @ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Ceò, Slocan Craiceann orainds | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann |
Sàbh, Comharran Strìochan | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann |
Slatan-tomhais Taobh Cùil | |||
Sgoltaidhean, casan-fitheach, comharran-sàbhaidh, stains | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann | Chan eil gin ann |
Suidheachadh uachdar | Caustic air a ghràbhaladh |
Diagram Mionaideach


