LNOI Wafer (Lithium Niobate air Insulator) Telecommunications Sensing Àrd Electro-Optigeach

Tuairisgeul Goirid:

Tha LNOI (Lithium Niobate on Insulator) a’ riochdachadh àrd-ùrlar cruth-atharrachail ann an nanophotonics, a’ cothlamadh feartan àrd-choileanaidh lithium niobate le giullachd sgalachail co-chòrdail ri silicon. A’ cleachdadh modh-obrach Smart-Cut™ atharraichte, tha filmichean tana LN air an sgaradh bho chriostalan mòra agus air an ceangal ri fo-stratan inslithe, a’ cruthachadh cruach measgaichte comasach air teicneòlasan optigeach, RF, agus cuantamach adhartach a chumail suas.


Feartan

Diagram Mionaideach

LNOI 3
LiNbO3-4

Sealladh farsaing

Taobh a-staigh bogsa nan uaifearan tha claisean co-chothromach, agus tha na tomhasan aca gu tur co-ionnan gus taic a thoirt do dhà thaobh an uaifearan. Mar as trice, tha am bogsa criostail air a dhèanamh de stuth plastaig PP thar-shoilleir a tha an aghaidh teòthachd, caitheamh agus dealan statach. Bithear a’ cleachdadh diofar dhathan de stuthan cur-ris gus earrannan pròiseas meatailt a chomharrachadh ann an cinneasachadh leth-chonnsachaidh. Air sgàth meud beag iuchair leth-chonnsachaidh, pàtrain dùmhail, agus riatanasan meud gràinean glè theann ann an cinneasachadh, feumar dèanamh cinnteach gu bheil àrainneachd ghlan aig bogsa nan uaifearan gus ceangal a dhèanamh ri cuas ath-bhualadh bogsa meanbh-àrainneachd diofar innealan cinneasachaidh.

Modh-obrach Dèanamh

Tha grunn cheumannan mionaideach ann an saothrachadh wafers LNOI:

Ceum 1: Ion-chur Ian HeliumThèid ianan helium a chur a-steach do chriostal LN mòr-chuid le bhith a’ cleachdadh inneal-cur a-steach ian. Bidh na h-ianan seo a’ fuireach aig doimhneachd shònraichte, a’ cruthachadh plèana lag a chuidicheas le bhith a’ dealachadh an fhilm mu dheireadh.

Ceum 2: Cruthachadh Bun-stèidhTha uaifear silicon no LN air leth air a ocsaidachadh no air a chòmhdach le SiO2 a’ cleachdadh PECVD no ocsaidachadh teirmeach. Tha an uachdar àrd aige air a phlanadh airson ceangal as fheàrr.

Ceum 3: Ceangal LN ris an t-substrateTha criostal LN a tha air a chur a-steach le ian air a thionndadh agus air a cheangal ris a’ bhun-uèir le bhith a’ cleachdadh ceangal dìreach ris a’ uèir. Ann an suidheachaidhean rannsachaidh, faodar benzocyclobutene (BCB) a chleachdadh mar ghreamaiche gus ceangal a dhèanamh nas sìmplidhe fo chumhachan nach eil cho teann.

Ceum 4: Làimhseachadh Teirmeach agus Dealachadh FilmBidh an teasachadh a’ cur cruthachadh builgeanan an gnìomh aig an doimhneachd far a bheil an implant air a chur, a’ comasachadh dealachadh an fhilm tana (an sreath LN as àirde) bhon mhòr-chuid. Cleachdar feachd mheacanaigeach gus an sgrìobadh a chrìochnachadh.

Ceum 5: Snasadh UachdarBithear a’ cur snasadh ceimigeach-mheacanaigeach (CMP) an sàs gus uachdar àrd an LN a dhèanamh rèidh, a’ leasachadh càileachd optigeach agus toradh an uidheim.

Paramadairean Teicnigeach

Stuth

Optaigeach Ìre LiNbO3 uaighean (Geal or Dubh)

Curie Teòthachd

1142±0.7℃

Gearradh Ceàrn

X/Y/Z etc.

Trast-thomhas/meud

2”/3”/4” ±0.03mm

Tol(±)

<0.20 mm ±0.005mm

Tiughas

0.18~0.5mm no barrachd

Prìomh Còmhnard

16mm/22mm/32mm

TTV

<3μm

Bogha

-30

Lùbadh

<40μm

Treòrachadh Còmhnard

A h-uile rud ri fhaighinn

Uachdar Seòrsa

Singilte Taobhach Snasta (SSP) / Dùbailte Taobhach Snasta (DSP)

Snasta taobh Ra

<0.5nm

S/D

20/10

Oir Slatan-tomhais R=0.2mm Seòrsa-C or Sròn-tarbh
Càileachd Saor an-asgaidh of sgàineadh (builgeanan agus a-steach)
Optaigeach air a dhòpadh Mg/Fe/Zn/MgO msaa airson optaigeach ìre LN uaiflean gach air iarraidh
Uafar Uachdar Slatan-tomhais

Clàr-amais ath-tharraingeach

Àireamh=2.2878/Ne=2.2033 @ dòigh ceangail tonn-fhaid/prisma 632nm.

Truailleadh,

Chan eil gin ann

Mìrean c>0.3μ m

<=30

Sgrìobadh, Sgoltadh

Chan eil gin ann

Easbhaidh

Gun sgàinidhean oir, sgrìoban, comharran sàbhaidh, stains
Pacadh

Meud/bogsa Wafer

25 pìosan gach bogsa

Cùisean Cleachdaidh

Air sgàth cho ioma-chruthach agus cho coileanta ‘s a tha e, thathas a’ cleachdadh LNOI thar iomadh gnìomhachas:

Fotonaigs:Moduladairean teann, ioma-fhillteadairean, agus cuairtean fotonaigeach.

RF/Acùisteachd:Moduladairean fuaimneach-optaigeach, sìoltachain RF.

Àireamhachd Cuantum:Measgadairean tricead neo-loidhneach agus gineadairean paidhir foton.

Dìon & Aerospace:Giros optaigeach call-ìosal, innealan atharrachaidh tricead.

Innealan Meidigeach:Bith-mhothadairean optaigeach agus proban comharran àrd-tricead.

Ceistean Cumanta

C: Carson a tha LNOI nas fheàrr na SOI ann an siostaman optaigeach?

A:Tha co-èifeachdan electro-optaigeach nas fheàrr agus raon follaiseachd nas fharsainge aig LNOI, a’ comasachadh coileanadh nas àirde ann an cuairtean fotonaigeach.

 

C: A bheil CMP èigneachail an dèidh sgaradh?

A:Tha. Tha uachdar nochdte an LN garbh an dèidh gearradh-ian agus feumar a lìomhadh gus coinneachadh ri sònrachaidhean ìre optigeach.

C: Dè am meud wafer as motha a tha ri fhaighinn?

A:Is e 3” agus 4” a th’ ann an uibhearan LNOI malairteach sa mhòr-chuid, ged a tha cuid de sholaraichean a’ leasachadh atharrachaidhean 6”.

 

C: An gabh an sreath LN ath-chleachdadh às dèidh a sgoltadh?

A:Faodar criostal a’ bhunait ath-sholaiseadh agus ath-chleachdadh grunn thursan, ged a dh’ fhaodadh a’ chàileachd crìonadh às dèidh grunn chuairtean.

 

C: A bheil wafers LNOI co-chòrdail ri giullachd CMOS?

A:'S e, tha iad air an dealbhadh gus a bhith a rèir pròiseasan saothrachaidh leth-chonnsachaidh àbhaisteach, gu h-àraidh nuair a thathar a' cleachdadh fo-stratan silicon.


  • Roimhe:
  • Air adhart:

  • Sgrìobh do theachdaireachd an seo agus cuir thugainn i