LNOI Wafer (Lithium Niobate air Insulator) Telecommunications Sensing Àrd Electro-Optigeach
Diagram Mionaideach
Sealladh farsaing
Taobh a-staigh bogsa nan uaifearan tha claisean co-chothromach, agus tha na tomhasan aca gu tur co-ionnan gus taic a thoirt do dhà thaobh an uaifearan. Mar as trice, tha am bogsa criostail air a dhèanamh de stuth plastaig PP thar-shoilleir a tha an aghaidh teòthachd, caitheamh agus dealan statach. Bithear a’ cleachdadh diofar dhathan de stuthan cur-ris gus earrannan pròiseas meatailt a chomharrachadh ann an cinneasachadh leth-chonnsachaidh. Air sgàth meud beag iuchair leth-chonnsachaidh, pàtrain dùmhail, agus riatanasan meud gràinean glè theann ann an cinneasachadh, feumar dèanamh cinnteach gu bheil àrainneachd ghlan aig bogsa nan uaifearan gus ceangal a dhèanamh ri cuas ath-bhualadh bogsa meanbh-àrainneachd diofar innealan cinneasachaidh.
Modh-obrach Dèanamh
Tha grunn cheumannan mionaideach ann an saothrachadh wafers LNOI:
Ceum 1: Ion-chur Ian HeliumThèid ianan helium a chur a-steach do chriostal LN mòr-chuid le bhith a’ cleachdadh inneal-cur a-steach ian. Bidh na h-ianan seo a’ fuireach aig doimhneachd shònraichte, a’ cruthachadh plèana lag a chuidicheas le bhith a’ dealachadh an fhilm mu dheireadh.
Ceum 2: Cruthachadh Bun-stèidhTha uaifear silicon no LN air leth air a ocsaidachadh no air a chòmhdach le SiO2 a’ cleachdadh PECVD no ocsaidachadh teirmeach. Tha an uachdar àrd aige air a phlanadh airson ceangal as fheàrr.
Ceum 3: Ceangal LN ris an t-substrateTha criostal LN a tha air a chur a-steach le ian air a thionndadh agus air a cheangal ris a’ bhun-uèir le bhith a’ cleachdadh ceangal dìreach ris a’ uèir. Ann an suidheachaidhean rannsachaidh, faodar benzocyclobutene (BCB) a chleachdadh mar ghreamaiche gus ceangal a dhèanamh nas sìmplidhe fo chumhachan nach eil cho teann.
Ceum 4: Làimhseachadh Teirmeach agus Dealachadh FilmBidh an teasachadh a’ cur cruthachadh builgeanan an gnìomh aig an doimhneachd far a bheil an implant air a chur, a’ comasachadh dealachadh an fhilm tana (an sreath LN as àirde) bhon mhòr-chuid. Cleachdar feachd mheacanaigeach gus an sgrìobadh a chrìochnachadh.
Ceum 5: Snasadh UachdarBithear a’ cur snasadh ceimigeach-mheacanaigeach (CMP) an sàs gus uachdar àrd an LN a dhèanamh rèidh, a’ leasachadh càileachd optigeach agus toradh an uidheim.
Paramadairean Teicnigeach
| Stuth | Optaigeach Ìre LiNbO3 uaighean (Geal or Dubh) | |
| Curie Teòthachd | 1142±0.7℃ | |
| Gearradh Ceàrn | X/Y/Z etc. | |
| Trast-thomhas/meud | 2”/3”/4” ±0.03mm | |
| Tol(±) | <0.20 mm ±0.005mm | |
| Tiughas | 0.18～0.5mm no barrachd | |
| Prìomh Còmhnard | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Bogha | -30 | |
| Lùbadh | <40μm | |
| Treòrachadh Còmhnard | A h-uile rud ri fhaighinn | |
| Uachdar Seòrsa | Singilte Taobhach Snasta (SSP) / Dùbailte Taobhach Snasta (DSP) | |
| Snasta taobh Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Oir Slatan-tomhais | R=0.2mm Seòrsa-C or Sròn-tarbh | |
| Càileachd | Saor an-asgaidh of sgàineadh (builgeanan agus a-steach) | |
| Optaigeach air a dhòpadh | Mg/Fe/Zn/MgO msaa airson optaigeach ìre LN uaiflean gach air iarraidh | |
| Uafar Uachdar Slatan-tomhais | Clàr-amais ath-tharraingeach | Àireamh=2.2878/Ne=2.2033 @ dòigh ceangail tonn-fhaid/prisma 632nm. |
| Truailleadh, | Chan eil gin ann | |
| Mìrean c>0.3μ m | <=30 | |
| Sgrìobadh, Sgoltadh | Chan eil gin ann | |
| Easbhaidh | Gun sgàinidhean oir, sgrìoban, comharran sàbhaidh, stains | |
| Pacadh | Meud/bogsa Wafer | 25 pìosan gach bogsa |
Cùisean Cleachdaidh
Air sgàth cho ioma-chruthach agus cho coileanta ‘s a tha e, thathas a’ cleachdadh LNOI thar iomadh gnìomhachas:
Fotonaigs:Moduladairean teann, ioma-fhillteadairean, agus cuairtean fotonaigeach.
RF/Acùisteachd:Moduladairean fuaimneach-optaigeach, sìoltachain RF.
Àireamhachd Cuantum:Measgadairean tricead neo-loidhneach agus gineadairean paidhir foton.
Dìon & Aerospace:Giros optaigeach call-ìosal, innealan atharrachaidh tricead.
Innealan Meidigeach:Bith-mhothadairean optaigeach agus proban comharran àrd-tricead.
Ceistean Cumanta
C: Carson a tha LNOI nas fheàrr na SOI ann an siostaman optaigeach?
A:Tha co-èifeachdan electro-optaigeach nas fheàrr agus raon follaiseachd nas fharsainge aig LNOI, a’ comasachadh coileanadh nas àirde ann an cuairtean fotonaigeach.
C: A bheil CMP èigneachail an dèidh sgaradh?
A:Tha. Tha uachdar nochdte an LN garbh an dèidh gearradh-ian agus feumar a lìomhadh gus coinneachadh ri sònrachaidhean ìre optigeach.
C: Dè am meud wafer as motha a tha ri fhaighinn?
A:Is e 3” agus 4” a th’ ann an uibhearan LNOI malairteach sa mhòr-chuid, ged a tha cuid de sholaraichean a’ leasachadh atharrachaidhean 6”.
C: An gabh an sreath LN ath-chleachdadh às dèidh a sgoltadh?
A:Faodar criostal a’ bhunait ath-sholaiseadh agus ath-chleachdadh grunn thursan, ged a dh’ fhaodadh a’ chàileachd crìonadh às dèidh grunn chuairtean.
C: A bheil wafers LNOI co-chòrdail ri giullachd CMOS?
A:'S e, tha iad air an dealbhadh gus a bhith a rèir pròiseasan saothrachaidh leth-chonnsachaidh àbhaisteach, gu h-àraidh nuair a thathar a' cleachdadh fo-stratan silicon.
