Criostal Tantalate Lithium LT (LiTaO3) 2 òirleach/3 òirleach/4 òirleach/6 òirleach Treòrachadh Y-42°/36°/108° Tiugh 250-500um
Paramadairean teicnigeach
Ainm | LiTaO3 ìre-optaigeach | Ìre clàr fuaime LiTaO3 |
Aiseach | Gearradh Z + / - 0.2 ° | Gearradh Y 36° / gearradh Y 42° / gearradh X(+ / - 0.2 °) |
Trast-thomhas | 76.2mm + / - 0.3mm/100±0.2mm | 76.2mm + /-0.3mm100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm |
Plèana dàta | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm32mm + /-2mm |
Tiughas | 500um + /-5mm1000um + /-5mm | 500um + /-20mm350um + /-20mm |
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
Teòthachd Curie | 605 °C + / - 0.7 °C (dòigh DTA) | 605 °C + / -3 °C (Dòigh-obrach DTA) |
Càileachd uachdar | Snasadh dà-thaobhach | Snasadh dà-thaobhach |
Oirean camaichte | cruinneachadh oir | cruinneachadh oir |
Prìomh fheartan
1. Structar criostail agus coileanadh dealain
· Seasmhachd Chriostail-eòlach: 100% ceannas polytype 4H-SiC, gun chuibhreann ioma-chriostail sam bith (me, 6H/15R), le lùb crathaidh XRD làn-leud aig leth-uasmhéid (FWHM) ≤32.7 arcsec.
· Gluasadachd Àrd-ghiùlain: Gluasadachd dealanach de 5,400 cm²/V·s (4H-SiC) agus gluasadachd toll de 380 cm²/V·s, a’ comasachadh dealbhadh innealan àrd-tricead.
·Cruas Rèididheachd: A’ seasamh an aghaidh rèididheachd neodron 1 MeV le stairsneach milleadh gluasaid de 1 × 10¹⁵ n/cm², freagarrach airson tagraidhean aerospace agus niùclasach.
2. Togalaichean teirmeach agus meacanaigeach
Seoltachd Teirmeach Sònraichte: 4.9 W/cm·K (4H-SiC), trì uiread nas motha na silicon, a’ toirt taic do obrachadh os cionn 200°C.
· Co-èifeachd Leudachaidh Teirmeach Ìosal: CTE de 4.0 × 10⁻⁶/K (25–1000°C), a’ dèanamh cinnteach à co-chòrdalachd le pacaigeadh stèidhichte air silicon agus a’ lughdachadh cuideam teirmeach.
3. Smachd air Lochdan agus Mionaideachd Giullachd
· Dlùths nam Micrio-phìoban: <0.3 cm⁻² (wafers 8-òirleach), dlùths dì-àiteachaidh <1,000 cm⁻² (air a dhearbhadh tro ghràbhaladh KOH).
· Càileachd Uachdar: air a lìomhadh le CMP gu Ra <0.2 nm, a’ coinneachadh ri riatanasan rèidh ìre litagrafaidh EUV.
Prìomh Thagraidhean
Fearann | Suidheachaidhean Iarrtais | Buannachdan Teicnigeach |
Conaltradh Optaigeach | Lasairean 100G/400G, modalan hibrid fotonaig silicon | Bidh fo-stratan sìl InP a’ comasachadh beàrn-chòmhlain dhìreach (1.34 eV) agus heteroepitaxy stèidhichte air Si, a’ lughdachadh call ceangail optigeach. |
Carbadan Lùtha Ùra | Innealan-tionndaidh àrd-bholtaids 800V, luchd-cosgais air bòrd (OBC) | Bidh fo-stratan 4H-SiC a’ seasamh an aghaidh >1,200 V, a’ lughdachadh call giùlain le 50% agus meud an t-siostaim le 40%. |
Conaltradh 5G | Innealan RF tonn-mìlemeatair (PA/LNA), amplifiers cumhachd stèisean-stèidh | Bidh fo-stratan SiC leth-inslithe (strìochd >10⁵ Ω·cm) a’ comasachadh amalachadh fulangach àrd-tricead (60 GHz+). |
Uidheam Gnìomhachais | Braitearan teòthachd àrd, claochladairean gnàthach, sgrùdairean reactar niùclasach | Bidh fo-stratan sìl InSb (beàrn-chòmhlain 0.17 eV) a’ lìbhrigeadh cugallachd magnetach suas ri 300%@10 T. |
Uaifearan LiTaO₃ - Prìomh fheartan
1. Coileanadh Piezoelectric nas fheàrr
· Bidh co-èifeachdan piezoelectric àrd (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) a’ comasachadh innealan SAW/BAW àrd-tricead le call cuir a-steach <1.5dB airson sìoltachain RF 5G
· Tha ceangal electromeacanaigeach sàr-mhath a’ toirt taic do dhealbhaidhean sìoltachain leud-bann farsaing (≥5%) airson tagraidhean fo-6GHz agus mmWave
2. Feartan Optaigeach
· Follaiseachd leathan-bann (tar-chur >70% bho 400-5000nm) airson moduladairean electro-optaigeach a’ coileanadh leud-bann >40GHz
· Bidh so-leòntachd optaigeach neo-loidhneach làidir (χ⁽²⁾~30pm/V) a’ comasachadh ginealach èifeachdach den dàrna co-sheirm (SHG) ann an siostaman leusair
3. Seasmhachd Àrainneachdail
Bidh teòthachd àrd Curie (600°C) a’ cumail suas freagairt piezoelectric ann an àrainneachdan ìre chàraichean (-40°C gu 150°C).
· Tha neo-sheasmhachd cheimigeach an aghaidh searbhagan/alcalan (pH1-13) a’ dèanamh cinnteach à earbsachd ann an tagraidhean mothachaidh gnìomhachais
4. Comasan Gnàthachaidh
· Innleadaireachd treòrachaidh: gearradh-X (51°), gearradh-Y (0°), gearradh-Z (36°) airson freagairtean piezoelectric gnàthaichte
· Roghainnean dopaidh: Dopaidh le Mg (strì an aghaidh milleadh optaigeach), dopaidh le Zn (d₃₃ leasaichte)
· Crìochnachaidhean uachdar: snasadh deiseil airson epitaxial (Ra<0.5nm), meatailteachadh ITO/Au
Uaifearan LiTaO₃ - Prìomh Thagraidhean
1. Modalan Aghaidh-deireadh RF
· Criathragan 5G NR SAW (Band n77/n79) le co-èifeachd teòthachd tricead (TCF) <|-15ppm/°C|
· Ath-fhuaimearan BAW ultra-leathann-bann airson WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)
2. Fotonaigs Amalaichte
· Moduladairean Mach-Zehnder aig astar luath (>100Gbps) airson conaltradh optaigeach co-leanailteach
· Lorgairean infridhearg QWIP le tonnan-gaoithe gearraidh a ghabhas atharrachadh bho 3-14μm
3. Leictreonaic Chàraichean
· Braitearan pàircidh ultrasonach le tricead obrachaidh >200kHz
· Transducers piezoelectric TPMS a mhaireas cearcall teirmeach bho -40°C gu 125°C
4. Siostaman Dìon
· Criathragan glacadair EW le diùltadh taobh a-muigh a’ chòmhlain >60dB
· Uinneagan IR neach-sireadh urchraichean a’ sgaoileadh rèididheachd MWIR 3-5μm
5. Teicneòlasan a tha a’ tighinn am bàrr
· Transducers cuantamach opto-mheacanaigeach airson tionndadh meanbh-thonn gu optaigeach
· Sreathan PMUT airson ìomhaighean ultrasound meidigeach (rùn >20MHz)
Uafairean LiTaO₃ - Seirbheisean XKH
1. Riaghladh Slabhraidh Solarachaidh
· Giullachd Boule-to-wafer le ùine luaidhe 4 seachdainean airson sònrachaidhean àbhaisteach
· Riochdachadh a tha air a leasachadh a thaobh cosgais a’ lìbhrigeadh buannachd prìsean 10-15% an taca ri farpaisich
2. Fuasglaidhean Gnàthaichte
· Criathradh-sgaoilidh sònraichte don treòrachadh: gearradh-Y 36°±0.5° airson coileanadh SAW as fheàrr
· Co-dhèanamhan air an dopadh: MgO (5mol%) dopadh airson tagraidhean optaigeach
Seirbheisean meatailteachaidh: pàtranadh electrode Cr/Au (100/1000Å)
3. Taic Theicnigeach
· Comharrachadh stuthan: lùban crathaidh XRD (FWHM<0.01°), mion-sgrùdadh uachdar AFM
· Samhlachadh innealan: Modaladh FEM airson leasachadh dealbhaidh sìoltachain SAW
Co-dhùnadh
Tha uaifearan LiTaO₃ a’ leantainn air adhart a’ comasachadh adhartasan teicneòlais thar conaltradh RF, fotonaigs amalaichte, agus mothachairean àrainneachd chruaidh. Bidh eòlas stuthan, mionaideachd saothrachaidh, agus taic innleadaireachd tagraidh XKH a’ cuideachadh luchd-ceannach gus faighinn thairis air dùbhlain dealbhaidh ann an siostaman dealanach an ath ghinealaich.


