Uidheam teicneòlais laser microjet gearradh wafer giollachd stuthan SiC

Tuairisgeul Goirid:

’S e seòrsa de shiostam innealachaidh mionaideach a th’ ann an uidheamachd teicneòlais laser microjet a bhios a’ cothlamadh laser àrd-lùtha agus jet leaghaidh ìre micron. Le bhith a’ ceangal a’ ghath laser ris an jet leaghaidh àrd-astar (uisge dì-ionichte no leaghan sònraichte), faodar giullachd stuthan a thoirt gu buil le mionaideachd àrd agus milleadh teirmeach ìosal. Tha an teicneòlas seo gu sònraichte freagarrach airson gearradh, drileadh agus giullachd meanbh-structar stuthan cruaidh is brisg (leithid SiC, sapphire, glainne), agus tha e air a chleachdadh gu farsaing ann an leth-chonnsachaidh, taisbeanaidhean foto-dealain, innealan meidigeach agus raointean eile.


Feartan

Prionnsabal obrach:

1. Ceangal leusair: tha leusair cuisleach (UV/uaine/infridhearg) air a fhòcasadh taobh a-staigh an jet leaghaidh gus sianal tar-chuir lùtha seasmhach a chruthachadh.

2. Stiùireadh leaghaidh: jet àrd-astar (ìre sruthadh 50-200m/s) a’ fuarachadh an àite giullachd agus a’ toirt air falbh sprùilleach gus casg a chuir air cruinneachadh teas agus truailleadh.

3. Toirt air falbh stuthan: Bidh lùth an leusair ag adhbhrachadh buaidh cavitation anns an leaghan gus giullachd fuar an stuth a choileanadh (sòn le buaidh teas <1μm).

4. Smachd fiùghantach: atharrachadh ann an àm fìor air paramadairean laser (cumhachd, tricead) agus cuideam jet gus coinneachadh ri feumalachdan diofar stuthan agus structaran.

Prìomh pharaimearan:

1. Cumhachd leusair: 10-500W (atharrachail)

2. Trast-thomhas an jet: 50-300μm

3. Cruinneas innealachaidh: ±0.5μm (gearradh), co-mheas doimhneachd ri leud 10:1 (drileadh)

dealbh 1

Buannachdan teicnigeach:

(1) Cha mhòr nach eil milleadh teas ann
- Bidh fuarachadh jet leaghaidh a’ cumail smachd air an raon air a bheil buaidh teas (HAZ) gu **<1μm**, a’ seachnadh meanbh-sgoltaidhean air adhbhrachadh le giullachd laser àbhaisteach (mar as trice bidh HAZ >10μm).

(2) Innealachadh fìor-àrd-chruinneas
- Cruinneas gearraidh/drileadh suas ri **±0.5μm**, garbh-chruth oir Ra<0.2μm, a’ lughdachadh na feumalachd airson snasadh às dèidh sin.

- Taic do phròiseasadh structar 3D iom-fhillte (leithid tuill cònail, sliotan cumadh).

(3) Co-chòrdalachd stuthan farsaing
- Stuthan cruaidh is brisg: SiC, sapphire, glainne, ceirmeag (tha dòighean traidiseanta furasta an sgrios).

- Stuthan a tha mothachail air teas: poileimearan, clò bith-eòlasach (gun chunnart dì-nàdarrachadh teirmeach).

(4) Dìon agus èifeachdas na h-àrainneachd
- Gun truailleadh duslach, faodar leaghan ath-chuairteachadh agus sìoladh.

- Àrdachadh 30%-50% ann an astar giollachd (an coimeas ri innealachadh).

(5) Smachd tuigseach
- Suidheachadh lèirsinneach amalaichte agus leasachadh paramadair AI, tiughas stuthan atharrachail agus lochdan.

Sònrachaidhean teicnigeach:

Meud a' chunntair 300 * 300 * 150 400 * 400 * 200
Ais loidhneach XY Motair loidhneach. Motair loidhneach Motair loidhneach. Motair loidhneach
Ais loidhneach Z 150 200
Cruinneas suidheachaidh μm +/-5 +/-5
Cruinneas suidheachaidh ath-aithrisichte μm +/-2 +/-2
Luathachadh G 1 0.29
Smachd àireamhach 3 ais /3+1 ais /3+2 ais 3 ais /3+1 ais /3+2 ais
Seòrsa smachd àireamhach DPSS Nd:YAG DPSS Nd:YAG
Tonn-fhad nm 532/1064 532/1064
Cumhachd reataichte W 50/100/200 50/100/200
Jet uisge 40-100 40-100
Bàr cuideam nozzle 50-100 50-600
Meudan (inneal-inneal) (leud * fad * àirde) mm 1445*1944*2260 1700 * 1500 * 2120
Meud (caibineat smachd) (L * F * À) 700 * 2500 * 1600 700 * 2500 * 1600
Cuideam (uidheam) T 2.5 3
Cuideam (caibineat smachd) KG 800 800
Comas giullachd Garbh-uachdar Ra≤1.6um

Astar fosglaidh ≥1.25mm/s

Gearradh cuairt-thomhas ≥6mm/s

Astar gearraidh loidhneach ≥50mm/s

Garbh-uachdar Ra≤1.2um

Astar fosglaidh ≥1.25mm/s

Gearradh cuairt-thomhas ≥6mm/s

Astar gearraidh loidhneach ≥50mm/s

   

Airson criostal gallium nitride, stuthan leth-chonnsachaidh beàrn còmhlan ultra-fharsaing (diamant / Gallium oxide), stuthan sònraichte aerospace, fo-strat ceirmeag gualain LTCC, fòtòlach, criostal scintillator agus giullachd stuthan eile.

Nota: Bidh comas giullachd ag atharrachadh a rèir feartan stuthan

 

 

Cùis giullachd:

dealbh 2

Seirbheisean XKH:

Tha XKH a’ toirt seachad raon iomlan de thaic seirbheis cearcall-beatha airson uidheamachd teicneòlais laser microjet, bho leasachadh pròiseas tràth agus co-chomhairleachadh taghadh uidheamachd, chun amalachadh siostam gnàthaichte meadhan-ùine (a’ gabhail a-steach maidseadh sònraichte stòr laser, siostam jet agus modúl fèin-ghluasaid), chun trèanadh obrachaidh is cumail suas nas fhaide air adhart agus leasachadh pròiseas leantainneach, tha am pròiseas gu lèir uidheamaichte le taic sgioba teicnigeach proifeasanta; Stèidhichte air 20 bliadhna de eòlas innealachaidh mionaideach, is urrainn dhuinn fuasglaidhean aon-stad a thoirt seachad a’ gabhail a-steach dearbhadh uidheamachd, ro-ràdh cinneasachadh mòr agus freagairt luath às dèidh reic (24 uair de thaic theicnigeach + tèarmann phàirtean a bharrachd cudromach) airson diofar ghnìomhachasan leithid leth-chonnsachaidh agus meidigeach, agus gealltainn barantas 12 mìosan a dh’fhaid agus seirbheis cumail suas is ùrachadh fad-beatha. Dèan cinnteach gu bheil uidheamachd luchd-ceannach an-còmhnaidh a’ cumail suas coileanadh giullachd agus seasmhachd as fheàrr sa ghnìomhachas.

Diagram Mionaideach

Uidheam teicneòlais laser microjet 3
Uidheam teicneòlais laser microjet 5
Uidheam teicneòlais laser microjet 6

  • Roimhe:
  • Air adhart:

  • Sgrìobh do theachdaireachd an seo agus cuir thugainn i