Inneal-sàbhaidh daoimean ioma-uèir airson stuthan brisg cruaidh SiC Sapphire
Ro-ràdh do Inneal Sàbhaidh Daoimean Ioma-Uèir
’S e siostam gearraidh ùr-nodha a th’ anns an inneal sàbhaidh daoimean ioma-uèir a chaidh a dhealbhadh airson stuthan air leth cruaidh agus brisg a phròiseasadh. Le bhith a’ cleachdadh grunn uèirichean co-shìnte còmhdaichte le daoimean, faodaidh an inneal grunn wafers a ghearradh aig an aon àm ann an aon chearcall, a’ coileanadh an dà chuid toradh àrd agus mionaideachd. Tha an teicneòlas seo air a thighinn gu bhith na inneal riatanach ann an gnìomhachasan leithid leth-chonnsachaidhean, photovoltaics grèine, LEDs, agus ceirmeag adhartach, gu sònraichte airson stuthan mar SiC, sapphire, GaN, quartz, agus alumina.
An coimeas ri gearradh aon-uèir àbhaisteach, bidh an rèiteachadh ioma-uèir a’ lìbhrigeadh dusanan gu ceudan de shliseagan gach baidse, a’ lughdachadh ùine rothaireachd gu mòr agus aig an aon àm a’ cumail rèidhleanachd sàr-mhath (Ra < 0.5 μm) agus mionaideachd tomhasach (±0.02 mm). Bidh an dealbhadh modúlach aige ag amalachadh teannachadh uèir fèin-ghluasadach, siostaman làimhseachaidh pìos obrach, agus sgrùdadh air-loidhne, a’ dèanamh cinnteach à cinneasachadh fad-ùine, seasmhach, agus làn fèin-ghluasadach.
Paramadairean Teicnigeach Inneal Sàbhaidh Daoimean Ioma-Uèir
| Nì | Sònrachadh | Nì | Sònrachadh |
|---|---|---|---|
| Meud obrach as motha (Ceàrnagach) | 220 × 200 × 350 mm | Motair dràibhidh | 17.8 kW × 2 |
| Meud obrach as motha (Cruinn) | Φ205 × 350 mm | Motair dràibhidh uèir | 11.86 kW × 2 |
| Àiteachadh an t-snàthainn | Φ250 ±10 × 370 × 2 ais (mm) | Motair togail bòrd-obrach | 2.42 kW × 1 |
| Prìomh ais | 650 mm | Motair luingeis | 0.8 kW × 1 |
| Astar ruith uèir | 1500 m/mionaid | Motair rèiteachaidh | 0.45 kW × 2 |
| Trast-thomhas uèir | Φ0.12–0.25 mm | Motair teannachaidh | 4.15 kW × 2 |
| Astar togail | 225 mm/mion | Motair slurraidh | 7.5 kW × 1 |
| Cuairteachadh clàr as motha | ±12° | Comas tanca slurry | 300 liotair |
| Ceàrn luing | ±3° | Sruth fuarachaidh | 200 L/mionaid |
| Tricead luingeis | ~30 uair/mionaid | Cruinneas teòthachd | ±2 °C |
| Ìre beathachaidh | 0.01–9.99 mm/mion | Solar cumhachd | 335+210 (mm²) |
| Ìre beathachaidh uèir | 0.01–300 mm/mion | Adhair teannaichte | 0.4–0.6 MPa |
| Meud an inneil | 3550 × 2200 × 3000 mm | Cuideam | 13,500 cileagram |
Inneal-obrach Inneal-sàbhaidh Daoimean Ioma-Uèir
-
Gluasad Gearraidh Ioma-Uèir
Bidh iomadh uèir daoimean a’ gluasad aig astaran sioncronaichte suas ri 1500 m/min. Bidh ulgain le stiùireadh mionaideach agus smachd teannachaidh lùb dùinte (15–130 N) a’ cumail nan uèirichean seasmhach, a’ lughdachadh a’ chothruim gun tèid iad a-mach no gun tèid iad a bhriseadh. -
Biadhadh is Suidheachadh Ceart
Bidh suidheachadh le servo a’ coileanadh cruinneas ±0.005 mm. Bidh co-thaobhadh le leusair no le taic lèirsinn roghainneil a’ leasachadh thoraidhean airson chumaidhean iom-fhillte. -
Fuarachadh agus Toirt air falbh Sprùilleach
Bidh fuaradair àrd-bhruthadh a’ toirt air falbh sgoltagan gu leantainneach agus a’ fuarachadh an àite-obrach, a’ cur casg air milleadh teirmeach. Bidh sìoladh ioma-ìre a’ leudachadh beatha fuaradair agus a’ lughdachadh ùine downt. -
Àrd-ùrlar Smachd Smart
Bidh draibhearan servo àrd-fhreagairt (<1 ms) ag atharrachadh biadhadh, teannachadh, agus astar uèir gu dinamach. Bidh riaghladh reasabaidhean aonaichte agus atharrachadh paramadair aon-bhriog a’ dèanamh cinneasachadh mòr-sgìreil nas sìmplidhe.
Prìomh Bhuannachdan Inneal Sàbhaidh Daoimean Ioma-Uèir
-
Àrd-chinneas
Comasach air 50–200 wafer a ghearradh gach ruith, le call kerf <100 μm, a’ leasachadh cleachdadh stuthan suas ri 40%. Tha an toradh 5–10x nas luaithe na siostaman aon-uèir traidiseanta. -
Smachd Mionaideach
Tha seasmhachd teannachadh uèir taobh a-staigh ±0.5 N a’ dèanamh cinnteach à toraidhean cunbhalach air diofar stuthan brisg. Tha sgrùdadh fìor-ùine air eadar-aghaidh HMI 10" a’ toirt taic do stòradh reasabaidhean agus obrachadh iomallach. -
Togail Sùbailte, Modúlach
Co-chòrdail ri trast-thomhas uèir bho 0.12–0.45 mm airson diofar phròiseasan gearraidh. Leigidh làimhseachadh robotach roghainneil le loidhnichean cinneasachaidh làn fèin-ghluasadach. -
Earbsachd Ìre Gnìomhachais
Bidh frèamaichean làidir-dhleastanais leaghte/foirmichte a’ lughdachadh deformachadh (<0.01 mm). Bidh ulagan-treòrachaidh le còmhdach ceirmeag no carbide a’ toirt seachad còrr is 8000 uair de bheatha seirbheis.
Raointean Iarrtais Inneal Sàbhaidh Daoimean Ioma-Uèir
-
leth-sheoladaireanA’ gearradh SiC airson modalan cumhachd EV, fo-stratan GaN airson innealan 5G.
-
Fòto-bholtaigGearradh uaifearan silicon aig astar luath le cunbhalachd ±10 μm.
-
LED & OptaigFo-stratan sapphire airson epitaxy agus eileamaidean optigeach mionaideach le sgoltadh oir <20 μm.
-
Ceirmeag AdhartachGiullachd alumina, AlN, agus stuthan coltach ris airson co-phàirtean riaghlaidh aerospace agus teirmeach.
Ceistean Cumanta – Inneal Sàbhaidh Daoimean Ioma-Uèir
C1: Dè na buannachdan a tha ann an sàbhadh ioma-uèir an taca ri innealan aon-uèir?
A: Faodaidh siostaman ioma-uèir dusanan gu ceudan de wafers a ghearradh aig an aon àm, a’ meudachadh èifeachdas le 5–10×. Tha cleachdadh stuthan nas àirde cuideachd le call kerf fo 100 μm, ga dhèanamh freagarrach airson cinneasachadh mòr.
C2: Dè na seòrsaichean stuthan a dh'fhaodar a phròiseasadh?
A: Tha an inneal air a dhealbhadh airson stuthan cruaidh is brisg, nam measg silicon carbide (SiC), sapphire, gallium nitride (GaN), grian-chlach, alumina (Al₂O₃), agus alùmanum nitride (AlN).
C3: Dè an cruinneas agus càileachd uachdar a ghabhas coileanadh?
A: Faodaidh garbh-chruth uachdar ruighinn Ra <0.5 μm, le cruinneas tomhasach de ±0.02 mm. Faodar smachd a chumail air sgoltadh oirean gu <20 μm, a’ coinneachadh ri inbhean gnìomhachais leth-chonnsachaidh agus optoelectronic.
C4: A bheil am pròiseas gearraidh ag adhbhrachadh sgàinidhean no milleadh?
A: Le fuaradair àrd-bhruthadh agus smachd teannachaidh lùb dùinte, tha cunnart meanbh-sgaraidhean agus milleadh cuideam air a lughdachadh, a’ dèanamh cinnteach à ionracas sàr-mhath de na wafers.
