Fo-stratan Co-dhèanta SiC Seòrsa-N Dia6inch Fo-strat monocrystalline àrd-inbhe agus fo-strat ìosal-inbhe
Clàr paramadair cumanta fo-stratan co-dhèanta SiC seòrsa-N
| 项目Nithean | 指标Sònrachadh | 项目Nithean | 指标Sònrachadh |
| uainTrast-thomhas | 150±0.2mm | al 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Garbh-chruth aghaidh (Si-aghaidh) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) |
| lainPoileataip | 4H | Sgoltadh, sgrìobadh, oir (sgrùdadh lèirsinneach) | Chan eil gin ann |
| 电阻率Frith-sheasmhachd | 0.015-0.025 ohm ·cm | 总厚度变化TTV | ≤3μm |
| Tiughas an t-sreath gluasaid | ≥0.4μm | 翘曲度Lùbadh | ≤35μm |
| aidhFalamh | ≤5 gach uaifle (2mm>D>0.5mm) | 总厚度Tiughas | 350±25μm |
Tha an ainmeachadh "seòrsa-N" a’ toirt iomradh air an t-seòrsa dopaidh a thathas a’ cleachdadh ann an stuthan SiC. Ann am fiosaig leth-chonnsachaidh, tha dopaidh a’ toirt a-steach a bhith a’ toirt a-steach neo-chunbhalachdan a dh’aona ghnothach a-steach do leth-chonnsachaidh gus na feartan dealain aige atharrachadh. Bidh dopaidh seòrsa-N a’ toirt a-steach eileamaidean a bheir seachad cus dealanan saora, a’ toirt dùmhlachd giùlain cosgais àicheil don stuth.
Am measg nam buannachdan a tha an lùib fo-stratan co-dhèanta SiC seòrsa-N tha:
1. Coileanadh aig teòthachd àrd: Tha seoltachd teirmeach àrd aig SiC agus faodaidh e obrachadh aig teòthachd àrd, ga dhèanamh freagarrach airson tagraidhean dealanach àrd-chumhachd agus àrd-tricead.
2. Bholtaids briseadh-sìos àrd: Tha bholtaids briseadh-sìos àrd aig stuthan SiC, a’ leigeil leotha seasamh an aghaidh raointean dealain àrda gun bhriseadh-sìos dealain.
3. Seasmhachd ceimigeach agus àrainneachdail: Tha SiC seasmhach gu ceimigeach agus faodaidh e seasamh an aghaidh suidheachaidhean àrainneachdail cruaidh, ga dhèanamh freagarrach airson a chleachdadh ann an tagraidhean dùbhlanach.
4. Call cumhachd nas lugha: An coimeas ri stuthan traidiseanta stèidhichte air silicon, bidh fo-stratan SiC a’ comasachadh tionndadh cumhachd nas èifeachdaiche agus a’ lughdachadh call cumhachd ann an innealan dealanach.
5. Beàrn-chòmhlain farsaing: Tha beàrn-chòmhlain farsaing aig SiC, a leigeas le leasachadh innealan dealanach as urrainn obrachadh aig teòthachdan nas àirde agus dùmhlachdan cumhachd nas àirde.
Gu h-iomlan, tha buannachdan mòra aig fo-stratan co-dhèanta SiC seòrsa-N airson leasachadh innealan dealanach àrd-choileanaidh, gu sònraichte ann an tagraidhean far a bheil obrachadh aig teòthachd àrd, dùmhlachd cumhachd àrd, agus tionndadh cumhachd èifeachdach deatamach.