seòrsa p 4H / 6H-P 3C-N TIP SIC substrate 4inch 〈111 〉 ± 0.5 ° Zero MPD

Tuairisgeul goirid:

Tha an substrate SiC seòrsa P-4H / 6H-P 3C-N, 4-òirleach le stiùireadh 〈111 〉 ± 0.5 ° agus ìre Zero MPD (Micro Pipe Defect), na stuth semiconductor àrd-choileanadh a chaidh a dhealbhadh airson inneal dealanach adhartach saothrachadh. Tha e ainmeil airson a ghiùlan teirmeach sàr-mhath, bholtachd briseadh sìos àrd, agus neart làidir an aghaidh teòthachd àrd agus corrach, tha an substrate seo air leth freagarrach airson electronics cumhachd agus tagraidhean RF. Tha an ìre Zero MPD a’ gealltainn glè bheag de lochdan, a’ dèanamh cinnteach à earbsachd agus seasmhachd ann an innealan àrd-choileanaidh. Tha an stiùireadh mionaideach aige 〈111〉± 0.5 ° a’ ceadachadh co-thaobhadh ceart aig àm saothrachadh, ga dhèanamh freagarrach airson pròiseasan saothrachaidh air sgèile mhòr. Tha an t-substrate seo air a chleachdadh gu farsaing ann an innealan dealanach àrd-teòthachd, àrd-bholtaid, agus àrd-tricead, leithid innealan-tionndaidh cumhachd, inverters, agus co-phàirtean RF.


Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

4H / 6H-P Seòrsa SiC Fo-stratan Co-fhillte Clàr paramadair cumanta

4 òirleach trast-thomhas SiliconSubstrate carbide (SiC). Sònrachadh

 

Ìre Zero cinneasachadh MPD

Ìre (Z Ìre)

Riochdachadh Coitcheann

Ìre (P Ìre)

 

Ìre Dummy (D Ìre)

Trast-thomhas 99.5 mm ~ 100.0 mm
Tigheadas 350 μm ± 25 μm
Treòrachadh Wafer Far an axis: 2.0 ° -4.0 ° a dh’ ionnsaigh [112(-)0] ± 0.5° airson 4H/6H-P, On axis: 〈111 〉 ± 0.5 ° airson 3C-N
Dùmhlachd meanbh-phìob 0 cm-2
Resistivity seòrsa p 4H/6H-P ≤0.1 cm ≤0.3 cm
n-seòrsa 3C-N ≤0.8 m² ≤1 m cm
Stiùireadh Flat Bun-sgoile 4H/6H-P -

{1010} ± 5.0°

3C-N -

{110} ± 5.0°

Fad Flat Bun-sgoile 32.5 mm ± 2.0 mm
Fad Flat Àrd-sgoile 18.0 mm ± 2.0 mm
Stiùireadh Flat Àrd-sgoile Aghaidh silicone suas: 90 ° CW. bho phrìomh flat±5.0°
Exclusion Edge 3 mm 6 mm
LTV/TTV/Bow/Warp ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Garbhachd Pòlainnis Ra≤1 nm
CMP Ra≤0.2 nm Ra ≤0.5 nm
Sgàinidhean oir le solas àrd dian Chan eil gin Faid tionalach ≤ 10 mm, fad singilte≤2 mm
Plataichean hex le solas àrd dian Raon cruinnichte ≤0.05% Raon cruinnichte ≤0.1%
Sgìrean Polytype Le Solas Àrd-dian Chan eil gin Raon cruinnichte≤3%
In-ghabhail Carbon Lèirsinneach Raon cruinnichte ≤0.05% Raon cruinnichte ≤3%
Sgrìobadh uachdar Silicon le solas àrd dian Chan eil gin Fad cruinn ≤1 × trast-thomhas wafer
Edge Chips Àrd Le Solas dian Chan eil gin ceadaichte ≥0.2mm leud agus doimhneachd 5 ceadaichte, ≤1 mm gach
Truailleadh uachdar silicon le dian àrd Chan eil gin
Pacadh Cassette ioma-wafer no inneal-gleidhidh wafer singilte

Notaichean:

※ Tha crìochan uireasbhaidhean a’ buntainn ri uachdar wafer iomlan ach a-mhàin an raon toirmeasg oir. # Bu chòir na sgrìoban a sgrùdadh air aghaidh Si a-mhàin.

Tha an substrate SiC seòrsa P 4H / 6H-P 3C-N seòrsa 4-òirleach le stiùireadh 〈111 〉 ± 0.5 ° agus ìre Zero MPD air a chleachdadh gu farsaing ann an tagraidhean dealanach àrd-choileanaidh. Tha an giùlan teirmeach sàr-mhath aige agus bholtachd briseadh sìos àrd ga dhèanamh air leth freagarrach airson electronics cumhachd, leithid suidsichean àrd-bholtachd, inverters, agus luchd-tionndaidh cumhachd, ag obair ann an suidheachaidhean fìor. A bharrachd air an sin, tha strì an t-substrate ri teòthachd àrd agus corrach a’ dèanamh cinnteach gu bheil coileanadh seasmhach ann an àrainneachdan cruaidh. Tha an stiùireadh mionaideach 〈111〉±0.5 ° a’ neartachadh cruinneas saothrachaidh, ga dhèanamh freagarrach airson innealan RF agus tagraidhean àrd-tricead, leithid siostaman radar agus uidheamachd conaltraidh gun uèir.

Am measg nam buannachdan a tha aig substrates co-dhèanta SiC de sheòrsa N tha:

1. Giùlan teirmeach àrd: Sgaoileadh teas èifeachdach, ga dhèanamh freagarrach airson àrainneachdan àrd-teòthachd agus tagraidhean àrd-chumhachd.
2. Voltage Briseadh Àrd: A 'dèanamh cinnteach à coileanadh earbsach ann an tagraidhean àrd-bholtaid leithid innealan-tionndaidh cumhachd agus inverters.
3. Zero MPD (Micro Pipe Defect) Ìre: A 'gealltainn glè bheag de lochdan, a' toirt seachad seasmhachd agus àrd earbsa ann an innealan dealanach riatanach.
4. Cur an aghaidh creimeadh: Seasmhach ann an àrainneachdan cruaidh, a’ dèanamh cinnteach à gnìomhachd fad-ùine ann an suidheachaidhean dùbhlanach.
5. mionaideach 〈111〉± 0.5 ° Treòrachadh: A’ ceadachadh co-thaobhadh ceart rè saothrachadh, ag adhartachadh coileanadh inneal ann an tagraidhean àrd-tricead agus RF.

 

Gu h-iomlan, tha an substrate SiC seòrsa P-4H / 6H-P 3C-N seòrsa 4-òirleach le stiùireadh 〈111 〉± 0.5 ° agus ìre Zero MPD na stuth àrd-choileanaidh a tha air leth freagarrach airson tagraidhean dealanach adhartach. Tha an giùlan teirmeach sàr-mhath aige agus bholtachd briseadh sìos àrd ga dhèanamh foirfe airson electronics cumhachd leithid suidsichean àrd-bholtachd, inverters, agus luchd-tionndaidh. Tha an ìre Zero MPD a’ dèanamh cinnteach à glè bheag de lochdan, a’ toirt seachad earbsachd agus seasmhachd ann an innealan èiginneach. A bharrachd air an sin, tha strì an t-substrate an aghaidh creimeadh agus teòthachd àrd a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd ann an àrainneachdan cruaidh. Tha an stiùireadh mionaideach 〈111〉± 0.5 ° a’ ceadachadh co-thaobhadh ceart rè saothrachadh, ga dhèanamh air leth freagarrach airson innealan RF agus tagraidhean àrd-tricead.

Diagram mionaideach

b4
b3

  • Roimhe:
  • Air adhart:

  • Sgrìobh do theachdaireachd an seo agus cuir thugainn e