Fo-strat Bàn Ceàrnagach Sapphire – Optaigeach, Leth-sheoltaiche, agus Uaifle Deuchainn
Diagram Mionaideach
Sealladh farsaing air fo-strat bàn ceàrnagach Sapphire
Tha an t-substrate bàn ceàrnagach sapphire, mar a chithear san ìomhaigh, na phàirt alùmanum ocsaid aon-chriostail àrd-ghlanachd (Al₂O₃) a chaidh a dhealbhadh airson a chleachdadh ann an innleadaireachd optigeach adhartach, saothrachadh innealan leth-chonnsachaidh, agus deuchainnean uidheamachd mionaideach. Ainmeil airson a fheartan fiosaigeach is ceimigeach sònraichte, tha sapphire air a thighinn gu bhith mar aon de na stuthan as riatanach ann an gnìomhachasan a dh’ fheumas seasmhachd, seasmhachd agus coileanadh optigeach anabarrach. Air a thoirt gu buil tro dhòighean fàis criostail sòlaimte, leithid pròiseasan Kyropoulos (KY), Modh Iomlaid Teas (HEM), no Czochralski (CZ), tha na bàn ceàrnagach seo air an dèanamh gu faiceallach gus coinneachadh ris na h-inbhean càileachd as àirde.
Prìomh fheartan fo-strat bàn ceàrnagach Sapphire
'S e criostal aon-aiseach, anisotropic a th' ann an safair le structar laitís sia-thaobhach, a' tabhann measgachadh gun choimeas de neart meacanaigeach, seasmhachd teirmeach, agus strì an aghaidh cheimigean. Le ìre cruas Mohs de 9, tha safair san dàrna àite às dèidh daoimean a thaobh strì an aghaidh sgrìoban, a' dèanamh cinnteach à fad-beatha air leth eadhon fo chumhachan gnìomhachais sgrìobach. Tha a phuing leaghaidh nas àirde na 2000°C, a' leigeil le coileanadh earbsach ann an àrainneachdan àrd-teòthachd, agus tha a chall dielectric ìosal ga dhèanamh na stuth bun-stuth as fheàrr airson tagraidhean RF agus dealanach àrd-tricead.
Anns an raon optaigeach, tha raon tar-chuir farsaing aig sapphire bho ultraviolet domhainn (~200nm) tro sholas faicsinneach gu meadhan-infridhearg (~5000nm), le aon-ghnèitheachd optaigeach sàr-mhath agus dà-refraingeachd ìosal nuair a thèid an stiùireadh gu ceart. Tha na feartan seo a’ dèanamh beàrnan ceàrnagach sapphire riatanach ann an raointean dian optaigeach leithid siostaman laser, fotonics, speactroscopaidh, agus ìomhaighean.
Saothrachadh agus Giullachd
Bidh gach fo-strat bàn ceàrnagach sapphire a’ dol tro phròiseas cinneasachaidh teann, a’ tòiseachadh le pùdar alumina amh àrd-ghlanachd air an cur fo fhàs criostail fo smachd ann an àmhainnean teòthachd àrd. Às deidh don chriostal mòr fhàs, tha e air a stiùireadh gu mionaideach (mar as trice plèana-C (0001), plèana-A (11-20), no plèana-R (1-102)) gus freagairt air riatanasan sònraichte an tagraidh. Tha an criostal an uairsin air a sgoltadh ann am beàrnan ceàrnagach le sàibh còmhdaichte le daoimean, agus an uairsin air a lapadh gu mionaideach gus cunbhalachd tighead a choileanadh. Airson tagraidhean optigeach agus leth-chonnsachaidh, faodar uachdaran a lìomhadh gu rèidh aig ìre atamach, a’ coinneachadh ri sònrachaidhean teann rèidh, co-shìnte, agus garbh-uachdar.
Prìomh Bhuannachdan
-
Follaiseachd Optaigeach air leth– Tha tar-chur leathann bho UV gu IR ga dhèanamh freagarrach airson uinneagan optigeach, cuasan laser, agus còmhdaichean mothachaidh.
-
Neart Meacanaigeach Àrd-inbhe- Bidh neart teannachaidh àrd, cruas brisidh, agus strì an aghaidh sgrìoban a’ dèanamh cinnteach à fad-beatha ann an àrainneachdan fo chuideam àrd.
-
Seasmhachd Teirmeach is Ceimigeach– A’ seasamh an aghaidh clisgeadh teirmeach, teòthachd àrd, agus ceimigean ionnsaigheach, a’ cumail suas ionracas rè giullachd leth-chonnsachaidh agus nochdadh àrainneachdail chruaidh.
-
Smachd Mionaideach Mionaideach– Fulangas tighead a ghabhas coileanadh taobh a-staigh ±5µm agus rèidhleanachd uachdar suas gu λ/10 (aig 632.8nm), deatamach airson tagraidhean fotolithografaidh agus ceangail wafer.
-
Iomadachd– Freagarrach airson grunn thagraidhean a’ gabhail a-steach co-phàirtean optaigeach, fo-stratan fàis epitaxial, agus wafers deuchainn inneil.
Iarrtasan
-
Tagraidhean OptaigeachAir a chleachdadh mar uinneagan, sìoltachain, luchd-gleidhidh meadhan buannachd laser, còmhdaichean dìon airson mothachairean, agus fo-stratan fotonaig air sgàth a shoilleireachd optaigeach agus a sheasmhachd.
-
Fo-stratan leth-sheoltaicheA’ frithealadh mar bhunait bhunasach airson LEDs stèidhichte air GaN, eileagtronaig cumhachd (structaran SiC-air-sapphire), innealan RF, agus cuairtean meanbh-eileagtronaigeach, far a bheil seoltachd teirmeach agus strì an aghaidh cheimigean air leth cudromach.
-
Deuchainn Uidheam agus Wafers DummyAir an cleachdadh gu tric mar shubstratan deuchainn ann an loidhnichean saothrachaidh leth-chonnsachaidh, air an cleachdadh airson calabrachadh innealan, atharrais phròiseasan, agus deuchainnean seasmhachd air uidheamachd gràbhaladh, tasgadh, no sgrùdaidh.
-
Rannsachadh SaidheansailRiatanach ann an suidheachaidhean deuchainneach a dh’ fheumas àrd-ùrlaran neo-ghnìomhach, follaiseach agus seasmhach gu meacanaigeach airson sgrùdaidhean optigeach, dealain agus stuthan.
Ceistean Cumanta
C1: Dè a’ bhuannachd a tha ann a bhith a’ cleachdadh bàn ceàrnagach de shaifír an taca ri wafer cruinn?
A: Bidh beàrnan ceàrnagach a’ toirt seachad an raon as motha a ghabhas cleachdadh airson gearradh gnàthaichte, saothrachadh innealan, no deuchainn innealan, a’ lughdachadh sgudal stuthan agus cosgais.
C2: An urrainn do shubstratan sapphire seasamh an aghaidh àrainneachdan giullachd leth-chonnsachaidh?
A: Tha, bidh fo-stratan sapphire a’ cumail seasmhachd fo theodhachd àrd, gràbhaladh plasma, agus làimhseachadh ceimigeach cumanta ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh.
C3: A bheil treòrachadh uachdar cudromach airson mo thagraidh?
A: Gu tur. Tha saphir plèana-C air a chleachdadh gu farsaing airson epitaxy GaN ann an cinneasachadh LED, agus is fheàrr treòrachadh plèana-A agus plèana-R airson tagraidhean optigeach no piezoelectric sònraichte.
C4: A bheil na beàrnan seo rim faighinn le còmhdach gnàthaichte?
A: 'S e, faodar còtaichean an-aghaidh meòrachadh, dielectric, no giùlanach a chur an sàs gus coinneachadh ri riatanasan optigeach no dealanach sònraichte.
Mu ar deidhinn
Tha XKH gu sònraichte a’ dèiligeadh ri leasachadh, cinneasachadh agus reic àrd-theicneòlais glainne optaigeach sònraichte agus stuthan criostail ùra. Bidh na toraidhean againn a’ frithealadh electronics optaigeach, electronics luchd-cleachdaidh, agus an armachd. Bidh sinn a’ tabhann co-phàirtean optaigeach Sapphire, còmhdaichean lionsa fònaichean-làimhe, Ceirmeag, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, agus wafers criostail leth-chonnsachaidh. Le eòlas sgileil agus uidheamachd ùr-nodha, tha sinn air leth math ann an giullachd thoraidhean neo-àbhaisteach, ag amas air a bhith nar prìomh iomairt àrd-theicneòlais stuthan optoelectronic.










