Graffit truinnsear ceirmeag SiC le còmhdach CVD SiC airson uidheamachd

Tuairisgeul goirid:

Bidh Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. a’ toirt a-mach Φ380mm–Φ600mm diosc seirbheachaidh leth-chonnsair, diosc giùlan wafer, treidhe carbide sileaconach, treidhe SIC, treidhe sileaconach carbide, treidhe seiseachaidh ICP, treidhe sgudail, purrachd sileaconach carbide > 99.9%, beatha seirbheis treidhe SIC ceithir tursan nas àirde na treidhe CVD stèidhichte air grafait, cleachdadh fad-ùine gun deformachadh, A’ seasamh an aghaidh searbhag FH, creimeadh dlùth H2So4.

Cuir post-d thugainn

Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Chan e a-mhàin gu bheilear a’ cleachdadh ceirmeag silicon carbide anns an ìre tasgaidh film tana, leithid epitaxy no MOCVD, no ann an giullachd wafer, aig cridhe a bheil na treallaich giùlan wafer airson MOCVD an-toiseach fo smachd na h-àrainneachd tasgaidh, agus mar sin tha iad gu mòr an aghaidh. Tha giùlan teirmeach àrd agus deagh fheartan cuairteachaidh teirmeach aig luchd-giùlan còmhdaichte le SiC cuideachd.

Tasgadh bhalbhaichean ceimigeach fìor-ghlan Luchd-giùlan wafer Silicon Carbide (CVD SiC) airson giullachd Tasgaidh Balbhaichean Ceimigeach Meatailt Organach Teòthachd àrd (MOCVD).

Tha luchd-giùlan wafer CVD SiC gu math nas fheàrr na na luchd-giùlan wafer àbhaisteach a thathas a’ cleachdadh sa phròiseas seo, a tha nan grafait agus air an còmhdach le còmhdach de CVD SiC. chan urrainn dha na luchd-còmhdhail seo stèidhichte air grafait seasamh an aghaidh na teodhachd àrd (1100 gu 1200 ceum Celsius) a tha riatanach airson tasgadh GaN de shoilleireachd àrd an latha an-diugh air a stiùireadh le gorm is geal. Bidh an teodhachd àrd ag adhbhrachadh gum bi an còmhdach a’ leasachadh tuill phrìneachan beaga tro am bi ceimigean pròiseas a’ bleith a’ ghrafait gu h-ìosal. Bidh na gràinean grafait an uairsin a’ frasadh dheth agus a’ truailleadh an GaN, ag adhbhrachadh gun tèid an neach-giùlain wafer còmhdaichte a chuir na àite.

Tha purrachd CVD SiC de 99.999% no barrachd agus tha giùlan teirmeach àrd agus strì an aghaidh clisgeadh teirmeach. Mar sin, faodaidh e seasamh ri teòthachd àrd agus àrainneachdan cruaidh saothrachadh LED soilleireachd àrd. Is e stuth cruaidh monolithic a th ’ann a ruigeas dùmhlachd teòiridheach, a’ toirt a-mach glè bheag de ghràineanan, agus a tha a ’nochdadh fìor àrd creimeadh agus bleith. Faodaidh an stuth neo-sheasmhachd agus seoltachd atharrachadh gun a bhith a’ toirt a-steach neo-chunbhalachd meatailteach. Mar as trice tha luchd-giùlan wafer 17 òirleach ann an trast-thomhas agus faodaidh iad suas ri 40 wafers 2-4 òirleach a chumail.