Substrate SiC P-seòrsa 4H / 6H-P 3C-N 4inch withe tiugh de 350um ìre cinneasachaidh ìre Dummy
Clàr paramadair seòrsa P 4H / 6H-P 3C-N substrate SiC 4inch
4 òirleach trast-thomhas SiliconSubstrate carbide (SiC). Sònrachadh
Ìre | Zero cinneasachadh MPD Ìre (Z Ìre) | Riochdachadh Coitcheann Ìre (P Ìre) | Ìre Dummy (D Ìre) | ||
Trast-thomhas | 99.5 mm ~ 100.0 mm | ||||
Tigheadas | 350 μm ± 25 μm | ||||
Treòrachadh Wafer | Far an axis: 2.0 ° -4.0 ° a dh’ ionnsaigh [1120] ± 0.5° airson 4H/6H-P, On axis: 〈111 〉 ± 0.5 ° airson 3C-N | ||||
Dùmhlachd meanbh-phìob | 0 cm-2 | ||||
Resistivity | seòrsa p 4H/6H-P | ≤0.1 cm | ≤0.3 cm | ||
n-seòrsa 3C-N | ≤0.8 m² | ≤1 m cm | |||
Stiùireadh Flat Bun-sgoile | 4H/6H-P | - {1010} ± 5.0° | |||
3C-N | - {110} ± 5.0° | ||||
Fad Flat Bun-sgoile | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
Fad Flat Àrd-sgoile | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
Stiùireadh Flat Àrd-sgoile | Aghaidh silicone suas: 90 ° CW. bho phrìomh flat±5.0° | ||||
Exclusion Edge | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Garbhachd | Pòlainnis Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra ≤0.5 nm | ||||
Sgàinidhean oir le solas àrd dian | Chan eil gin | Faid tionalach ≤ 10 mm, fad singilte≤2 mm | |||
Plataichean hex le solas àrd dian | Raon cruinnichte ≤0.05% | Raon cruinnichte ≤0.1% | |||
Sgìrean Polytype Le Solas Àrd-dian | Chan eil gin | Raon cruinnichte≤3% | |||
In-ghabhail Carbon Lèirsinneach | Raon cruinnichte ≤0.05% | Raon cruinnichte ≤3% | |||
Sgrìobadh uachdar Silicon le solas àrd dian | Chan eil gin | Fad cruinn ≤1 × trast-thomhas wafer | |||
Edge Chips Àrd Le Solas dian | Chan eil gin ceadaichte ≥0.2mm leud agus doimhneachd | 5 ceadaichte, ≤1 mm gach | |||
Truailleadh uachdar silicon le dian àrd | Chan eil gin | ||||
Pacadh | Cassette ioma-wafer no inneal-gleidhidh wafer singilte |
Notaichean:
※ Tha crìochan uireasbhaidhean a’ buntainn ri uachdar wafer iomlan ach a-mhàin an raon toirmeasg oir. # Bu chòir na sgrìoban a sgrùdadh air aghaidh Si a-mhàin.
Tha an substrate SiC P-seòrsa 4H / 6H-P 3C-N 4-òirleach le tiugh de 350 μm air a chuir an sàs gu farsaing ann an saothrachadh innealan dealanach is cumhachd adhartach. Le giùlan teirmeach sàr-mhath, bholtadh briseadh àrd, agus strì làidir an aghaidh àrainneachdan fìor, tha an substrate seo air leth freagarrach airson electronics cumhachd àrd-choileanadh leithid suidsichean àrd-bholtachd, inverters, agus innealan RF. Bithear a’ cleachdadh fo-stratan ìre cinneasachaidh ann an saothrachadh air sgèile mhòr, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh inneal earbsach, àrd-chruinneas, a tha deatamach airson electronics cumhachd agus tagraidhean àrd-tricead. Air an làimh eile, thathas a’ cleachdadh fo-stratan ìre dummy sa mhòr-chuid airson calibration phròiseas, deuchainn uidheamachd, agus leasachadh prototype, a’ cuideachadh le bhith a’ cumail smachd càileachd agus cunbhalachd pròiseas ann an cinneasachadh semiconductor.
Sònrachadh Tha na buannachdan a th’ aig substrates co-dhèanta SiC de sheòrsa N a’ toirt a-steach
- Giùlan teirmeach àrd: Tha sgaoileadh teas èifeachdach a’ dèanamh an t-substrate air leth freagarrach airson tagraidhean àrd-teòthachd agus cumhachd àrd.
- Voltage briseadh sìos àrd: A ’toirt taic do ghnìomhachd àrd-bholtaid, a’ dèanamh cinnteach à earbsachd ann an electronics cumhachd agus innealan RF.
- A 'cur an aghaidh àrainneachdan cruaidh: Seasmhach ann an suidheachaidhean fìor leithid teòthachd àrd agus àrainneachdan creimneach, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh maireannach.
- Riochdachadh-Cruinneas ìre: A’ dèanamh cinnteach à coileanadh àrd-inbhe agus earbsach ann an saothrachadh mòr, freagarrach airson cumhachd adhartach agus tagraidhean RF.
- Dummy-ìre airson deuchainn a: A’ comasachadh calibration pròiseas ceart, deuchainn uidheamachd, agus prototyping gun a bhith a’ toirt buaidh air wafers ìre toraidh.
Gu h-iomlan, tha an substrate SiC P-type 4H / 6H-P 3C-N 4-òirleach le tiugh de 350 μm a ’tabhann buannachdan mòra airson tagraidhean dealanach àrd-choileanaidh. Tha an giùlan teirmeach àrd agus an bholtadh brisidh ga dhèanamh air leth freagarrach airson àrainneachdan àrd-chumhachd agus teòthachd àrd, fhad ‘s a tha e an aghaidh suidheachaidhean cruaidh a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd agus earbsachd. Bidh an substrate ìre toraidh a’ dèanamh cinnteach à coileanadh mionaideach agus cunbhalach ann an saothrachadh mòr de electronics cumhachd agus innealan RF. Aig an aon àm, tha an substrate ìre dummy riatanach airson calibration phròiseas, deuchainn uidheamachd, agus prototyping, a’ toirt taic do smachd càileachd agus cunbhalachd ann an cinneasachadh semiconductor. Tha na feartan sin a’ dèanamh substrates SiC gu math sùbailte airson tagraidhean adhartach.