Fo-strat aon-chriostail sileaconach carbaid (SiC) – Uabhar 10 × 10mm
Diagram mionaideach de wafer fo-strat Silicon Carbide (SiC)


Sealladh farsaing air wafer substrate Silicon Carbide (SiC)

AnUabhar-strat aon-chriostail 10 × 10mm de charbaid silicon (SiC)'S e stuth leth-chonnsachaidh àrd-choileanaidh a th' ann a chaidh a dhealbhadh airson tagraidhean eileagtronaigeach cumhachd agus optoelectronic an ath ghinealaich. Le seoltachd teirmeach air leth, beàrn-chòmhlain farsaing, agus seasmhachd cheimigeach sàr-mhath, tha wafer substrate Silicon Carbide (SiC) a’ toirt seachad am bunait airson innealan a bhios ag obair gu h-èifeachdach fo chumhachan teòthachd àrd, tricead àrd, agus bholtadh àrd. Tha na substrates sin air an gearradh gu mionaideach ann anSliseagan ceàrnagach 10 × 10mm, freagarrach airson rannsachadh, prototàipeadh, agus saothrachadh innealan.
Prionnsabal Riochdachaidh wafer fo-strat Silicon Carbide (SiC)
Tha uaifearan fo-strat Silicon Carbide (SiC) air an dèanamh tro dhòighean Còmhdhail Smùid Corporra (PVT) no dòighean fàis fo-shruthadh. Bidh am pròiseas a’ tòiseachadh le pùdar SiC àrd-ghlan air a luchdachadh a-steach do chrioch grafait. Fo theodhachd anabarrach os cionn 2,000 ° C agus àrainneachd fo smachd, bidh am pùdar a’ fo-shruthadh gu smùid agus ag ath-thasgadh air criostal sìl a tha air a stiùireadh gu faiceallach, a’ cruthachadh ingot criostail singilte mòr, le uireasbhaidhean air an lughdachadh.
Cho luath ‘s a bhios am boule SiC air fàs, bidh e a’ dol tro:
- Sliseadh ingot: Bidh sàibh uèir daoimean mionaideach a’ gearradh an ingot SiC ann an uaifearan no sgoltagan.
- Lapadh is bleith: Tha uachdaran air an rèiteachadh gus comharran sàbhaidh a thoirt air falbh agus tiughas cunbhalach fhaighinn.
- Snasadh Ceimigeach-Mheacanaigeach (CMP): A’ coileanadh crìochnachadh sgàthan epi-deiseil le garbh-chruth uachdar air leth ìosal.
- Dopadh roghainneil: Faodar dopadh naitridean, alùmanaim, no boron a thoirt a-steach gus na feartan dealain a dhealbhadh (seòrsa-n no seòrsa-p).
- Sgrùdadh càileachd: Bidh meatreòlas adhartach a’ dèanamh cinnteach gu bheil rèidhleanachd na wafer, cunbhalachd tighead, agus dùmhlachd locht a’ coinneachadh ri riatanasan teann ìre leth-chonnsachaidh.
Tha am pròiseas ioma-cheum seo a’ leantainn gu sgoltagan wafer substrate Silicon Carbide (SiC) làidir 10 × 10mm a tha deiseil airson fàs epitaxial no saothrachadh innealan gu dìreach.
Feartan Stuthach de shubstrait Silicon Carbide (SiC)


Tha am bun-stuth Silicon Carbide (SiC) air a dhèanamh sa mhòr-chuid de4H-SiC or 6H-SiCpoileataipichean:
-
4H-SiC:Tha gluasad àrd dealanach aige, ga dhèanamh freagarrach airson innealan cumhachd leithid MOSFETan agus diodes Schottky.
-
6H-SiC:A’ tabhann feartan sònraichte airson co-phàirtean RF agus optoelectronic.
Prìomh fheartan fiosaigeach wafer substrate Silicon Carbide (SiC):
-
Beàrn-chòmhlain farsaing:~3.26 eV (4H-SiC) – a’ comasachadh bholtaids briseadh-sìos àrd agus call suidsidh ìosal.
-
Seoltachd teirmeach:3–4.9 W/cm·K – a’ sgaoileadh teas gu h-èifeachdach, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd ann an siostaman àrd-chumhachd.
-
Cruas:~9.2 air sgèile Mohs – a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd mheacanaigeach rè giollachd agus obrachadh an inneil.
Tagraidhean wafer substrate Silicon Carbide (SiC)
Tha iomadachd wafer substrate Silicon Carbide (SiC) gan dèanamh luachmhor thar iomadh gnìomhachas:
Leictreonaic Cumhachd: Bunait airson MOSFETan, IGBTan, agus diodes Schottky a thathas a’ cleachdadh ann an carbadan dealain (EVan), solar cumhachd gnìomhachais, agus inverters lùth ath-nuadhachail.
Innealan RF & Microwave: A’ toirt taic do transistors, amplifiers, agus co-phàirtean radar airson tagraidhean 5G, saideal, agus dìon.
Optoelectronics: Air a chleachdadh ann an LEDs UV, lorgairean-foto, agus diodaichean laser far a bheil follaiseachd agus seasmhachd àrd UV deatamach.
Aerospace & Dìon: Bun-stuth earbsach airson electronics aig teòthachd àrd, air a chruadhachadh le rèididheachd.
Ionadan Rannsachaidh & Oilthighean: Freagarrach airson sgrùdaidhean saidheans stuthan, leasachadh innealan prototype, agus deuchainn phròiseasan epitaxial ùra.
Sònrachaidhean airson Sliseagan Wafer Fo-strat Silicon Carbide (SiC)
Seilbh | Luach |
---|---|
Meud | 10mm × 10mm ceàrnagach |
Tiughas | 330–500 μm (gnàthaichte) |
Poileataip | 4H-SiC no 6H-SiC |
Treòrachadh | Plèana-C, far an ais (0°/4°) |
Crìochnachadh Uachdar | Snasta aon-thaobhach no dà-thaobhach; deiseil airson epi-ri fhaighinn |
Roghainnean Dòpaidh | Seòrsa-N no seòrsa-P |
Ìre | Ìre rannsachaidh no ìre inneil |
Ceistean Cumanta mu wafer substrate Silicon Carbide (SiC)
C1: Dè a tha a’ dèanamh wafer substrate Silicon Carbide (SiC) nas fheàrr na wafers silicon traidiseanta?
Tha neart achaidh briseadh-sìos 10x nas àirde aig SiC, strì an aghaidh teas nas fheàrr, agus call suidsidh nas ìsle, ga dhèanamh freagarrach airson innealan àrd-èifeachdais, àrd-chumhachd nach urrainn do silicon taic a thoirt dhaibh.
C2: An gabh sreathan epitaxial a thoirt seachad air an t-substrate Silicon Carbide (SiC) 10 × 10mm?
'S e. Bidh sinn a' toirt seachad fo-stratan epi-ready agus is urrainn dhuinn wafers a lìbhrigeadh le sreathan epitaxial gnàthaichte gus coinneachadh ri feumalachdan sònraichte airson innealan cumhachd no saothrachadh LED.
C3: A bheil meudan gnàthaichte agus ìrean dopaidh rim faighinn?
Gu tur. Ged a tha sgoltagan 10 × 10mm àbhaisteach airson rannsachadh agus samplachadh innealan, tha tomhasan, tigheadan agus pròifilean dopaidh gnàthaichte rim faighinn air iarrtas.
C4: Dè cho seasmhach ’s a tha na wafers seo ann an àrainneachdan anabarrach?
Bidh SiC a’ cumail suas ionracas structarail agus coileanadh dealain os cionn 600°C agus fo rèididheachd àrd, ga dhèanamh freagarrach airson electronics ìre-armailteach agus aerospace.
Mu ar deidhinn
Tha XKH gu sònraichte a’ dèiligeadh ri leasachadh, cinneasachadh agus reic àrd-theicneòlais glainne optaigeach sònraichte agus stuthan criostail ùra. Bidh na toraidhean againn a’ frithealadh electronics optaigeach, electronics luchd-cleachdaidh, agus an armachd. Bidh sinn a’ tabhann co-phàirtean optaigeach Sapphire, còmhdaichean lionsa fònaichean-làimhe, Ceirmeag, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, agus wafers criostail leth-chonnsachaidh. Le eòlas sgileil agus uidheamachd ùr-nodha, tha sinn air leth math ann an giullachd thoraidhean neo-àbhaisteach, ag amas air a bhith nar prìomh iomairt àrd-theicneòlais stuthan optoelectronic.
