Àrd-ùrlar Giùlain-Adhair SiC Ultra-Mionaideach

Ìomhaigh Sònraichte Àrd-ùrlar Giùlan-adhair SiC Ultra-Mionaideach

Tuairisgeul Goirid:

Le mean-fhàs leantainneach gnìomhachas nan leth-chonnsadairean, tha feum aig uidheam giullachd is sgrùdaidh air coileanadh a tha a’ sìor fhàs nas àirde. A’ togail air eòlas farsaing ann an smachd gluasad agus suidheachadh aig ìre nanometer, tha sinn air àrd-ùrlar giùlain adhair dà-axis planar seòrsa H a leasachadh.

Cuir post-d thugainn

Feartan

Diagram Mionaideach

Sealladh farsaing

Air a dhealbhadh le structar ceirmeag silicon carbide (SiC) air a bharrrachadh airson eileamaidean crìochnaichte agus teicneòlas giùlain adhair dìolaichte, tha an àrd-ùrlar a’ lìbhrigeadh cruinneas, cruas agus freagairt dhinimigeach air leth. Tha e freagarrach airson:

Giullachd agus sgrùdadh leth-sheoltairean
Dèanamh agus meatr-eòlas meanbh/nano
Gearradh is snasadh chuileag air sgèile nanometer
Sganadh mionaideachd àrd-astar

Prìomh fheartan

Slighe-iùil giùlain adhair SiCairson stiffness agus mionaideachd fìor àrd
Daineamaigs àrdastar suas ri 1 m/s, luathachadh suas ri 4 g, socrachadh luath
Axis-Y gantry dà-dhràibhidha’ dèanamh cinnteach à comas luchdaidh àrd agus seasmhachd
Roghainnean an encodairgrèata optaigeach no eadar-theachdair laser
Cruinneas suidheachaidh: ±0.15 μm;ath-aithris±75 nm
Slighe càbaill air a leasachadhairson dealbhadh glan agus earbsachd fad-ùine
Rèiteachaidhean gnàthaichteairson feumalachdan sònraichte do thagraidhean

Dealbhadh Ultra-Mionaideach & Ailtireachd Neo-chonaltraidh, Dràibhidh Dhìreach

Frèam Ceirmeach SiC~5x cho cruaidh ri aloi alùmanum agus ~5x nas lugha de leudachadh teirmeach, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd aig astar luath agus neart teirmeach.
Giùlan-adhair dìolaidhBidh dealbhadh dìlseil a’ neartachadh stiffness, comas luchdan, agus seasmhachd gluasaid.
Coileanadh FiùghantachA’ toirt taic do astar 1 m/s agus luathachadh 4 g, freagarrach airson pròiseasan àrd-toraidh.
Amalachadh gun fhiostaCo-chòrdail ri siostaman aonaranachd crith, ìrean rothlach, modalan teilt, agus àrd-ùrlaran làimhseachaidh wafer.
Riaghladh CàballBidh radius lùbadh fo smachd a’ lughdachadh cuideam airson beatha seirbheis nas fhaide.

Motair Lìnearach Gun ChridheGluasad rèidh gun fheachd cogging sam bith.
Draibheadh Ioma-motairBidh suidheachadh motair plèana-luchd a’ leasachadh dìreachachd, rèidhleanachd agus cruinneas ceàrnach.
Dealachadh teirmeachTha motaran air an sgaradh bhon structar àrd-ùrlair; fuarachadh èadhair no uisge roghainneil airson cearcallan àrd-dhleastanais.

Sònrachaidhean

Modail	400-400	500-500	600-600
Aiseagan	X (sganadh) / Y (ceum)	X (sganadh) / Y (ceum)	X (sganadh) / Y (ceum)
Siubhal (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Cruinneas (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Ath-aithris (nm)	±75	±100	±100
Rùn (nm)	0.3	0.3	0.3
Astar as àirde (m/s)	1	1	1
Luathachadh (g)	4	4	4
Dìreachas (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Seasmhachd (nm)	±5	±5	±5
Uallach as motha (kg)	20	20	20
Pitch/Rol/Yaw (arc-diog)	±1	±1	±1

Cumhaichean Deuchainn:

Solar adhair: glan, tioram; puing drùchd ≤ 0°F; sìoladh mìrean ≤ 0.25 μm; no 99.99% naitridean.
Cruinneas air a thomhas 25 mm os cionn meadhan an àrd-ùrlair aig 20±1 °C, 40–60% RH.

Iarrtasan

Lithografaidh leth-sheoltairean, sgrùdadh, agus làimhseachadh wafers
Dèanamh meanbh/nano agus meatreòlas mionaideach
Saothrachadh optaigeach àrd-inbhe agus eadar-theachdaireachd
Rannsachadh saidheansail adhartach agus fànais-adhair

Ceistean Cumanta – Àrd-ùrlar Giùlan-Adhair Silicon Carbide

1. Dè a th’ ann an àrd-ùrlar giùlain-adhair?

Bidh àrd-ùrlar èadhair a’ cleachdadh film tana de dh’èadhar fo chuideam eadar an àrd-ùrlar agus an treòraiche gus a thoirt seachadgluasad gun suathadh, gun chaitheamh, agus ultra-rèidhEu-coltach ri giùlan meacanaigeach àbhaisteach, bidh e a’ cur às do shleamhnachadh-steige, a’ lìbhrigeadh cruinneas aig ìre nanometer, agus a’ toirt taic do earbsachd fad-ùine.

2. Carson a chleachdar carbide silicon (SiC) airson structar an àrd-ùrlair?

Stiùir àrd~5× an ìre de aloi alùmanaim, a’ lughdachadh deformachadh rè gluasad fiùghantach.
Leudachadh teirmeach ìosal~5× nas ìsle na alùmanum, a’ cumail cruinneas fo atharrachaidhean teòthachd.
AotromDùmhlachd nas ìsle an taca ri stàilinn, a’ comasachadh obrachadh aig astar àrd agus luathachadh àrd.
Seasmhachd sàr-mhathMaothachadh agus cruas nas fheàrr airson suidheachadh fìor mhionaideach.

3. A bheil feum aig an àrd-ùrlar air bealaidh no cumail suas?

Chan eil feum air lubrication traidiseanta leis gu bheilgun conaltradh meacanaigeachTha an cumail suas a thathar a’ moladh a’ gabhail a-steach:

A’ solarachadhèadhar teannaichte glan, tioram no naitridean
Sgrùdadh cunbhalach air sìoltachain agus tiormairean
Càbaill sgrùdaidh agus siostaman fuarachaidh

4. Dè na riatanasan solarachaidh adhair a th’ ann?

Puing drùchd: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Sìoladh mìrean: ≤ 0.25 μm
Adhair ghlan, thioram no naitridean fìor-ghlan 99.99%
Brùthadh seasmhach le glè bheag de atharrachaidhean

Mu ar deidhinn

Tha XKH gu sònraichte a’ dèiligeadh ri leasachadh, cinneasachadh agus reic àrd-theicneòlais glainne optaigeach sònraichte agus stuthan criostail ùra. Bidh na toraidhean againn a’ frithealadh electronics optaigeach, electronics luchd-cleachdaidh, agus an armachd. Bidh sinn a’ tabhann co-phàirtean optaigeach Sapphire, còmhdaichean lionsa fòn-làimhe, Ceirmeag, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, agus wafers criostail leth-chonnsachaidh. Le eòlas sgileil agus uidheamachd ùr-nodha, tha sinn air leth math ann am pròiseasadh thoraidhean neo-àbhaisteach, ag amas air a bhith nar prìomh iomairt àrd-theicneòlais stuthan optoelectronic.