Riochdachadh Wafer SiC 4H-N/6H-N, ìre meallta, Trast-strat silicon carbide, trast-strat 150mm
Sònrachadh fo-strat silicon carbide (SiC) le trast-thomhas de 6 òirleach
Ìre | Neoni MPD | Riochdachadh | Ìre Rannsachaidh | Ìre meallta |
Trast-thomhas | 150.0mm±0.25mm | |||
Tiughas | 4H-N | 350um ± 25um | ||
4H-SI | 500um ± 25um | |||
Treòrachadh Wafer | Air an axis: <0001> ± 0.5 ° airson 4H-SI | |||
Prìomh Àros | {10-10}±5.0° | |||
Fad Còmhnard Bunasach | 47.5mm±2.5mm | |||
Eisgeachd oir | 3mm | |||
TTV/Bogha/Lùb | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Dlùths nam Pìoban Micrio | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Frith-sheasmhachd 4H-N 4H-SI | 0.015~0.028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Garbhachd | Ra Pòlach ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
#Sgoltaidhean le solas àrd-dian | Chan eil gin ann | 1 ceadaichte, ≤2mm | Fad cruinnichte ≤10mm, fad singilte ≤2mm | |
*Plàtaichean heicseagach le solas àrd-dian | Raon cruinnichte ≤1% | Raon cruinnichte ≤ 2% | Raon cruinnichte ≤ 5% | |
*Raon polytype le solas àrd dian | Chan eil gin ann | Raon cruinnichte ≤ 2% | Raon cruinnichte ≤ 5% | |
*&Sgrìoban le solas àrd-dian | 3 sgrìoban gu fad cruinnichte 1 x trast-thomhas wafer | 5 sgrìoban gu fad cruinnichte 1 x trast-thomhas wafer | 5 sgrìoban gu 1 x trast-thomhas na wafer fad cruinnichte | |
Sliseag oir | Chan eil gin ann | 3 ceadaichte, ≤0.5mm gach fear | 5 ceadaichte, ≤1mm gach fear | |
Truailleadh le solas àrd-dian | Chan eil gin ann
|
Reic & Seirbheis Luchd-ceannach
Ceannach stuthan
Tha roinn ceannach stuthan an urra ri bhith a’ cruinneachadh a h-uile stuth amh a dh’ fheumar gus an toradh agad a dhèanamh. Tha làn lorg air a h-uile toradh agus stuth, a’ gabhail a-steach mion-sgrùdadh ceimigeach agus corporra, ri fhaighinn an-còmhnaidh.
Càileachd
Rè agus às dèidh saothrachadh no innealachadh do thoraidhean, bidh an roinn smachd càileachd an sàs ann a bhith a’ dèanamh cinnteach gu bheil a h-uile stuth agus fulangas a’ coinneachadh ris na sònrachaidhean agad no gan neartachadh.
Seirbheis
Tha sinn moiteil às ar luchd-obrach innleadaireachd reic le còrr is 5 bliadhna de dh'eòlas ann an gnìomhachas nan leth-chonnsadairean. Tha iad air an trèanadh gus ceistean teicnigeach a fhreagairt a bharrachd air luachan ùineail a thoirt seachad airson na feumalachdan agad.
Tha sinn ri do thaobh aig àm sam bith nuair a bhios duilgheadas agad, agus fuasglaidh sinn e ann an 10 uairean.
Diagram Mionaideach

