4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch cinneasachadh Dummy ìre Dia150mm substrate silicon carbide
Sònrachadh substrate silicon carbide (SiC) le trast-thomhas de 6 òirleach
Ìre | Neo MPD | Riochdachadh | Ìre rannsachaidh | Ìre Dummy |
Trast-thomhas | 150.0mm±0.25mm | |||
Tigheadas | 4H- N | 350um±25um | ||
4H- SI | 500um±25um | |||
Treòrachadh Wafer | Air an axis: <0001>±0.5° airson 4H-SI | |||
Flat bun-sgoile | {10-10}±5.0° | |||
Fad Flat Bun-sgoile | 47.5mm±2.5mm | |||
Às-dùnadh Edge | 3mm | |||
TTV/Bow/Warp | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Dùmhlachd meanbh-phìob | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Resistivity 4H-N 4H-SI | 0.015~0.028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Garbhachd | Pòlainnis Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
# Cracks le solas àrd dian | Chan eil gin | 1 ceadaichte, ≤2mm | Faid tionalach ≤10mm, faid singilte≤2mm | |
* Plataichean hex le solas àrd dian | Raon cruinnichte ≤1% | Raon cruinnichte ≤ 2% | Raon cruinnichte ≤ 5% | |
* Sgìrean polytype le solas àrd dian | Chan eil gin | Raon cruinnichte ≤ 2% | Raon cruinnichte ≤ 5% | |
*& Sgrìobadh le solas àrd dian | 3 sgrìoban gu 1 x trast-thomhas wafer fad tionalach | 5 sgrìoban gu 1 x trast-thomhas wafer fad tionalach | 5scratches gu 1 x trast-thomhas wafer fad tionalach | |
Sliseag oir | Chan eil gin | 3 ceadaichte, ≤0.5mm gach | 5 ceadaichte, ≤1mm gach | |
Truailleadh le solas àrd dian | Chan eil gin
|
Reic & Seirbheis teachdaiche
Ceannach stuthan
Tha e an urra ris an roinn ceannach stuthan na stuthan amh uile a chruinneachadh a dh’ fheumar gus an toradh agad a thoirt gu buil. Tha lorg iomlan air a h-uile toradh agus stuth, a’ toirt a-steach mion-sgrùdadh ceimigeach agus corporra an-còmhnaidh ri fhaighinn.
Càileachd
Rè agus às deidh saothrachadh no innealachadh do thoraidhean, tha an roinn smachd càileachd an sàs ann a bhith a’ dèanamh cinnteach gu bheil a h-uile stuth agus fulangas a’ coinneachadh no a’ dol thairis air an t-sònrachadh agad.
Seirbheis
Tha sinn moiteil gu bheil luchd-obrach innleadaireachd reic againn le còrr air 5 bliadhna de eòlas anns a’ ghnìomhachas semiconductor. Tha iad air an trèanadh gus ceistean teicnigeach a fhreagairt a bharrachd air luachan ùineail a thoirt seachad airson na feumalachdan agad.
tha sinn ri do thaobh aig àm sam bith nuair a tha duilgheadas agad, agus fuasgladh e ann an 10 uairean.