4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch cinneasachadh Dummy ìre Dia150mm substrate silicon carbide

Tuairisgeul goirid:

Is urrainn dhuinn substrate film tana superconducting aig teòthachd àrd, filmichean tana magnetach agus substrate film tana ferroelectric, criostal semiconductor, criostal optigeach, stuthan criostal laser, aig an aon àm a’ toirt seachad stiùireadh, gearradh criostal, bleith, snasadh agus seirbheisean giullachd eile. Tha na fo-stratan SiC againn a’ tighinn bho Tankeblue Factory ann an Sìona.


Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Sònrachadh substrate silicon carbide (SiC) le trast-thomhas de 6 òirleach

Ìre

Neo MPD

Riochdachadh

Ìre rannsachaidh

Ìre Dummy

Trast-thomhas

150.0mm±0.25mm

Tigheadas

4H- N

350um±25um

4H- SI

500um±25um

Treòrachadh Wafer

Air an axis: <0001>±0.5° airson 4H-SI
Off axis: 4.0° a dh’ionnsaigh<1120>±0.5° airson 4H-N

Flat bun-sgoile

{10-10}±5.0°

Fad Flat Bun-sgoile

47.5mm±2.5mm

Às-dùnadh Edge

3mm

TTV/Bow/Warp

≤15um/≤40um/≤60um

Dùmhlachd meanbh-phìob

≤1cm-2

≤5cm-2

≤15cm-2

≤50cm-2

Resistivity 4H-N 4H-SI

0.015~0.028Ω!cm

≥1E5Ω!cm

Garbhachd

Pòlainnis Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm

# Cracks le solas àrd dian

Chan eil gin

1 ceadaichte, ≤2mm

Faid tionalach ≤10mm, faid singilte≤2mm

* Plataichean hex le solas àrd dian

Raon cruinnichte ≤1%

Raon cruinnichte ≤ 2%

Raon cruinnichte ≤ 5%

* Sgìrean polytype le solas àrd dian

Chan eil gin

Raon cruinnichte ≤ 2%

Raon cruinnichte ≤ 5%

*& Sgrìobadh le solas àrd dian

3 sgrìoban gu 1 x trast-thomhas wafer fad tionalach

5 sgrìoban gu 1 x trast-thomhas wafer fad tionalach

5scratches gu 1 x trast-thomhas wafer fad tionalach

Sliseag oir

Chan eil gin

3 ceadaichte, ≤0.5mm gach

5 ceadaichte, ≤1mm gach

Truailleadh le solas àrd dian

Chan eil gin

Reic & Seirbheis teachdaiche

Ceannach stuthan

Tha e an urra ris an roinn ceannach stuthan na stuthan amh uile a chruinneachadh a dh’ fheumar gus an toradh agad a thoirt gu buil. Tha lorg iomlan air a h-uile toradh agus stuth, a’ toirt a-steach mion-sgrùdadh ceimigeach agus corporra an-còmhnaidh ri fhaighinn.

Càileachd

Rè agus às deidh saothrachadh no innealachadh do thoraidhean, tha an roinn smachd càileachd an sàs ann a bhith a’ dèanamh cinnteach gu bheil a h-uile stuth agus fulangas a’ coinneachadh no a’ dol thairis air an t-sònrachadh agad.

Seirbheis

Tha sinn moiteil gu bheil luchd-obrach innleadaireachd reic againn le còrr air 5 bliadhna de eòlas anns a’ ghnìomhachas semiconductor. Tha iad air an trèanadh gus ceistean teicnigeach a fhreagairt a bharrachd air luachan ùineail a thoirt seachad airson na feumalachdan agad.

tha sinn ri do thaobh aig àm sam bith nuair a tha duilgheadas agad, agus fuasgladh e ann an 10 uairean.

Diagram mionaideach

Fo-strat silicon carbide (1)
Fo-strat silicon carbide (2)

  • Roimhe:
  • Air adhart:

  • Sgrìobh do theachdaireachd an seo agus cuir thugainn e