Inneal snasaidh ian-ghathan airson sapphire SiC Si

Inneal snasaidh ian beam airson sapphire SiC Si Ìomhaigh sònraichte

Tuairisgeul Goirid:

Tha an Inneal Figearaidh is Snasaidh Ion Beam stèidhichte air prionnsapalspùtadh ianTaobh a-staigh seòmar falamh àrd, bidh stòr ian a’ gineadh plasma, a thèid a luathachadh gu bhith na ghath ian àrd-lùtha. Bidh a’ ghath seo a’ bomadh uachdar a’ phàirt optigeach, a’ toirt air falbh stuth aig an sgèile atamach gus ceartachadh agus crìochnachadh uachdar fìor mhionaideach a choileanadh.

Cuir post-d thugainn

Feartan

Diagram Mionaideach

Sealladh farsaing air toradh inneal snasaidh Ion Beam

Tha an Inneal Dealbhaidh is Lìomhaidh Beam Ion stèidhichte air prionnsapal sputtering ian. Taobh a-staigh seòmar àrd-falamh, bidh stòr ian a’ gineadh plasma, a thèid a luathachadh gu bhith na beam ian àrd-lùtha. Bidh am beam seo a’ bomadh uachdar a’ phàirt optigeach, a’ toirt air falbh stuth aig an sgèile atamach gus ceartachadh is crìochnachadh uachdar fìor mhionaideach a choileanadh.

Mar phròiseas neo-conaltraidh, bidh snasadh beam ian a’ cuir às do chuideam meacanaigeach agus a’ seachnadh milleadh fon uachdar, ga dhèanamh air leth freagarrach airson optaig àrd-chruinneas a dhèanamh a thathas a’ cleachdadh ann an reul-eòlas, aerospace, leth-chonnsachaidhean, agus tagraidhean rannsachaidh adhartach.

Prionnsabal Obrach Inneal Snasaidh Ion Beam

Ginealach Ion
Thèid gas neo-ghnìomhach (me, argon) a thoirt a-steach don t-seòmar falamh agus a ianachadh tro sgaoileadh dealain gus plasma a chruthachadh.

Luathachadh & Cruthachadh Beam
Tha na h-ianan air an luathachadh gu grunn cheudan no mìltean de bholtan dealanach (eV) agus air an cumadh ann an àite beam seasmhach, fòcasach.

Toirt air falbh stuthan
Bidh an beam ian a’ spùtadh ataman gu corporra bhon uachdar gun ath-bheachdan ceimigeach a thòiseachadh.

Lorg Mearachdan & Dealbhadh Slighe
Bithear a’ tomhas claonaidhean figear uachdar le eadar-theachd-mheataireachd. Bithear a’ cur gnìomhan toirt air falbh an sàs gus amannan fuirich a dhearbhadh agus slighean innealan leasaichte a chruthachadh.

Ceartachadh Lùb Dùinte
Bidh cearcallan ath-aithriseach de ghiullachd agus de thomhas a’ leantainn gus an tèid targaidean mionaideachd RMS/PV a choileanadh.

Prìomh fheartan inneal snasaidh Ion Beam

Co-chòrdalachd Uachdar Uile-choitcheann– A’ giullachd uachdaran rèidh, cruinn, neo-chruinn, agus saor-chruthach

Ìre Toirt Air Falbh Seasmhach- A’ comasachadh ceartachadh figear fo-nanometer

Giullachd gun mhilleadh- Gun lochdan fon uachdar no atharrachaidhean structarail

Coileanadh Cunbhalach- Ag obair a cheart cho math air stuthan de dhiofar chruas

Ceartachadh Tricead Ìosal/Meadhanach– A’ cur às do mhearachdan gun a bhith a’ gineadh nithean meadhan/àrd-tricead

Riatanas Cumail Suas Ìosal- Obrachadh leantainneach fada le glè bheag de ùine downt

Prìomh Shònrachaidhean Teicnigeach Inneal Snasaidh Ion Beam

Nì	Sònrachadh
Modh-giullachd	Spùtadh ian ann an àrainneachd àrd-falamh
Seòrsa Giullachd	Dealbhadh is snasadh uachdar neo-conaltraidh
Meud as motha den obair-obrach	Φ4000 mm
Aisealan Gluasaid	3-ais / 5-ais
Seasmhachd toirt air falbh	≥95%
Cruinneas Uachdar	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (RMS àbhaisteach < 1 nm; PV < 15 nm)
Comas Ceartachaidh Tricead	A’ toirt air falbh mearachdan tricead ìosal-meadhanach gun mhearachdan tricead meadhanach/àrd a thoirt a-steach
Obrachadh Leantainneach	3–5 seachdainean gun chumail suas falmhaiche
Cosgais Cumail Suas	Ìosal

Comasan Giullachd Inneal Snasaidh Ion Beam

Seòrsachan Uachdar a tha a’ faighinn taic

Simplidh: Còmhnard, cruinn, priosma

Co-fhillte: Asphere co-chothromach/neo-chothromach, asphere far-axis, siolandair

Sònraichte: Optaig tana, optaig slat, optaig leth-chruinneach, optaig cho-chòrdach, pleitean ìre, uachdaran saor-chruthach

Stuthan le Taic

Glainne optaigeach: Quartz, microcrystalline, K9, msaa.

Stuthan infridhearg: Silicon, germanium, msaa.

Meatailtean: Alùmanum, stàilinn gun smal, aloi titanium, msaa.

Criostalan: YAG, carbide silicon aon-chriostail, msaa.

Stuthan cruaidh/brisidh: carbide silicon, msaa.

Càileachd Uachdar / Mionaideachd

PV < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

Sgrùdaidhean Cùise Giullachd Inneal Snasaidh Ion Beam

Cùis 1 – Sgàthan Còmhnard Coitcheann

Obair-obrach: D630 mm còmhnard grian-chlach

Toradh: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Cùis 2 – Sgàthan Meòrachail X-ghath

Pìos-obrach: 150 × 30 mm de chlàr-silicon còmhnard

Toradh: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Leòd 0.13 µrad

Cùis 3 – Sgàthan Far-Axis

Pìos-obrach: sgàthan talmhainn far-axis D326 mm

Toradh: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

Ceistean Cumanta mu Ghlainneachan Quartz

Ceistean Cumanta – Inneal Snasaidh Ion Beam

C1: Dè a th’ ann an snasadh beam ian?
A1:’S e pròiseas neo-chontact a th’ ann an snasadh le beam ian a bhios a’ cleachdadh beam fòcasach de ianan (leithid ianan argon) gus stuth a thoirt air falbh bho uachdar pìos-obrach. Tha na h-ianan air an luathachadh agus air an stiùireadh a dh’ionnsaigh an uachdair, ag adhbhrachadh gun tèid stuth a thoirt air falbh aig ìre atamach, agus mar thoradh air sin bidh crìochnachaidhean fìor rèidh ann. Bidh am pròiseas seo a’ cur às do chuideam meacanaigeach agus milleadh fon uachdar, ga dhèanamh freagarrach airson co-phàirtean optigeach mionaideach.

C2: Dè na seòrsaichean uachdar as urrainn don Inneal Snasaidh Ion Beam a phròiseasadh?
A2:AnInneal Snasaidh Ion Beamcomasach air measgachadh de dh’uachdaran a phròiseasadh, a’ gabhail a-steach co-phàirtean optigeach sìmplidh marcòmhnardan, cruinneagan, agus prìosaman, a bharrachd air geoimeatraidh iom-fhillte marasfèaran, asfèaran far-aise, agusuachdaran saor-chruthachTha e gu sònraichte èifeachdach air stuthan leithid glainne optaigeach, optaig infridhearg, meatailtean, agus stuthan cruaidh/brisidh.

C3: Dè na stuthan leis am faod an Inneal Snasaidh Ion Beam obrachadh?
A3:AnInneal Snasaidh Ion Beamfaodaidh iad raon farsaing de stuthan a shoilleireachadh, nam measg:

Gloine optaigeachGrian-chlach, meanbh-chriostalach, K9, msaa.
Stuthan infridheargSilicon, gearmànium, msaa.
MeatailteanAlùmanum, stàilinn gun smal, aloi titanium, msaa.
Stuthan criostailYAG, carbide silicon aon-chriostail, msaa.
Stuthan cruaidh/brisidh eileCarbide silicon, msaa.

Mu ar deidhinn

Tha XKH gu sònraichte a’ dèiligeadh ri leasachadh, cinneasachadh agus reic àrd-theicneòlais glainne optaigeach sònraichte agus stuthan criostail ùra. Bidh na toraidhean againn a’ frithealadh electronics optaigeach, electronics luchd-cleachdaidh, agus an armachd. Bidh sinn a’ tabhann co-phàirtean optaigeach Sapphire, còmhdaichean lionsa fònaichean-làimhe, Ceirmeag, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, agus wafers criostail leth-chonnsachaidh. Le eòlas sgileil agus uidheamachd ùr-nodha, tha sinn air leth math ann an giullachd thoraidhean neo-àbhaisteach, ag amas air a bhith nar prìomh iomairt àrd-theicneòlais stuthan optoelectronic.