Wafers SiC Silicon Carbide 6inch 150mm Seòrsa 4H-N airson Rannsachadh Riochdachaidh MOS no SBD agus ìre Dummy
Raointean Iarrtais
Tha àite deatamach aig an t-substrate criostail singilte carbide 6-òirleach ann an grunn ghnìomhachasan. An toiseach, tha e air a chleachdadh gu bitheanta anns a 'ghnìomhachas semiconductor airson a bhith a' dèanamh àrd-chumhachd innealan dealanach leithid cumhachd transistors, amalaichte chuairtean, agus cumhachd modalan. Tha an giùlan teirmeach àrd agus an aghaidh àrd-teodhachd a 'comasachadh sgaoileadh teas nas fheàrr, a' ciallachadh gu bheil èifeachdas agus earbsachd nas fheàrr. San dàrna h-àite, tha wafers silicon carbide riatanach ann an raointean rannsachaidh airson leasachadh stuthan agus innealan ùra. A bharrachd air an sin, bidh an wafer carbide silicon a’ lorg thagraidhean farsaing ann an raon optoelectronics, a ’toirt a-steach saothrachadh LEDs agus diodes laser.
Sònrachaidhean Bathar
Tha trast-thomhas de 6 òirleach (timcheall air 152.4 mm) aig an fho-strat criostal singilte 6-òirleach silicon carbide. Is e garbh an uachdar Ra <0.5 nm, agus is e an tiugh 600 ± 25 μm. Faodar an t-substrate a ghnàthachadh le giùlan seòrsa N no seòrsa P, stèidhichte air riatanasan teachdaiche. A bharrachd air an sin, tha e a ’nochdadh seasmhachd meacanaigeach air leth, comasach air seasamh ri cuideam agus crith.
Trast-thomhas | 150 ± 2.0mm(6inch) | ||||
Tigheadas | 350 μm±25μm | ||||
Treòrachadh | Air axis: <0001> ±0.5° | Far an axis: 4.0 ° gu 1120 ± 0.5 ° | |||
Polytype | 4H | ||||
Resistivity (Ω·cm) | 4H- N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Prìomh stiùireadh còmhnard | {10-10}±5.0° | ||||
Prìomh fhad còmhnard (mm) | 47.5 mm±2.5 mm | ||||
Oir | Chamfer | ||||
TTV/Bow/Warp (um) | ≤15/≤40/≤60 | ||||
Aghaidh AFM (Si-face) | Pòlainnis Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
TBh | ≤5m | ≤10m | ≤15m | ||
Peel orains / slocan / sgàinidhean / truailleadh / stains / strì | Chan eil gin | Chan eil gin | Chan eil gin | ||
indents | Chan eil gin | Chan eil gin | Chan eil gin |
Is e stuth àrd-choileanaidh a th’ anns an t-substrate criostal singilte carbide silicon 6-òirleach a thathas a’ cleachdadh gu farsaing anns na gnìomhachasan semiconductor, rannsachadh, andoptoelectronics. Tha e a’ tabhann giùlan teirmeach sàr-mhath, seasmhachd meacanaigeach, agus strì an aghaidh àrd-teòthachd, ga dhèanamh freagarrach airson innealan dealanach àrd-chumhachd a dhèanamh agus sgrùdadh stuthan ùra. Bidh sinn a’ toirt seachad diofar shònrachaidhean agus roghainnean gnàthachaidh gus coinneachadh ri diofar iarrtasan teachdaiche.Cuir fios thugainn airson tuilleadh fiosrachaidh mu wafers silicon carbide!
Diagram mionaideach

